[發明專利]波前傳感器的參數標定裝置和方法有效

申請號：	201710210774.0	申請日：	2017-03-31
公開（公告）號：	CN108663125B	公開（公告）日：	2019-10-25
發明（設計）人：	翟思洪;何經雷	申請（專利權）人：	上海微電子裝備（集團）股份有限公司
主分類號：	G01J9/02	分類號：	G01J9/02
代理公司：	上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237	代理人：	屈蘅;李時云
地址：	201203 上***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	哈特曼波前傳感器角度調整干涉儀平面波三軸波前傳感器參數標定產生裝置測量數據處理分析系統位置調整裝置光電探測器微透鏡陣列測量數據傾斜偏差實時接收物理參數標定光闌
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【說明書】：

本發明公開了一種波前傳感器的參數標定裝置和方法，該裝置包括：平面波產生裝置；光闌，設置在平面波產生裝置與夏克?哈特曼波前傳感器之間，用于對平面波進行約束；位置調整裝置，用于對夏克?哈特曼波前傳感器進行角度調整；三軸位移干涉儀，用于測量夏克?哈特曼波前傳感器的角度調整量；及數據處理分析系統，與夏克?哈特曼波前傳感器和三軸位移干涉儀分別連接，用于實時接收夏克?哈特曼波前傳感器在角度調整中的測量數據和三軸位移干涉儀測得的夏克?哈特曼波前傳感器角度調整量，計算夏克?哈特曼波前傳感器的物理參數的測量。本發明可以測量微透鏡陣列到光電探測器之間的距離、安裝的傾斜偏差，實現對夏克?哈特曼波前傳感器的標定。

技術領域

本發明涉及傳感器領域，特別涉及一種波前傳感器的參數標定裝置和方法。

背景技術

夏克-哈特曼波前傳感器是一種波前檢測儀器，主要部件包括微透鏡陣列和光電探測器(CCD/CMOS)。波前傳感器的測量原理是基于對每個微透鏡子孔徑內入射前傾斜量的測量，利用每個子孔徑內入射波前的傾斜量拼接出整個入射波前的波像差。通常微透鏡到光電探測器的距離為微透鏡的焦距，但在微透鏡的加工、安裝過程中存在一定誤差，如果按照理論的加工及安裝距離計算，就會在最終的波前計算中引入誤差。因此在哈特曼波前傳感器集成過程中，需要對微透鏡的安裝誤差進行標定，否則將會影響夏克-哈特曼波前傳感器的測量精度。

發明內容

本發明提供一種波前傳感器的參數標定裝置和方法，以實現對夏克-哈特曼波前傳感器物理參數的標定。

為解決上述技術問題，本發明提供一種波前傳感器的參數標定裝置，包括：

平面波產生裝置，用于產生平面波；

光闌，設置在平面波產生裝置與夏克-哈特曼波前傳感器之間，用于對平面波進行約束；

位置調整裝置，用于對所述夏克-哈特曼波前傳感器進行角度調整；

三軸位移干涉儀，用于測量所述夏克-哈特曼波前傳感器的角度調整量；

以及

數據處理分析系統，與所述夏克-哈特曼波前傳感器和三軸位移干涉儀分別連接，用于實時接收所述夏克-哈特曼波前傳感器在角度調整中的測量數據和三軸位移干涉儀測得的所述夏克-哈特曼波前傳感器角度調整量，計算夏克-哈特曼波前傳感器的物理參數的測量。

作為優選，所述平面波產生裝置包括：點光源和與所述點光源對應設置的準直透鏡。

作為優選，所述平面波產生裝置采用ZYGO干涉儀。

作為優選，所述角度調整包括繞X向調整和/或繞Y向調整。