[發(fā)明專利]波前傳感器的參數(shù)標(biāo)定裝置和方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710210774.0
• 申請(qǐng)日: 2017-03-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108663125B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-10-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 翟思洪;何經(jīng)雷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號(hào): G01J9/02
• 分類號(hào): G01J9/02
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種波前傳感器的參數(shù)標(biāo)定裝置，其特征在于，包括：

平面波產(chǎn)生裝置，用于產(chǎn)生平面波；

光闌，設(shè)置在平面波產(chǎn)生裝置與夏克-哈特曼波前傳感器之間，用于對(duì)平面波進(jìn)行約束；

位置調(diào)整裝置，用于對(duì)所述夏克-哈特曼波前傳感器進(jìn)行角度調(diào)整；

三軸位移干涉儀，用于測(cè)量所述夏克-哈特曼波前傳感器的角度調(diào)整量；

以及

數(shù)據(jù)處理分析系統(tǒng)，與所述夏克-哈特曼波前傳感器和三軸位移干涉儀分別連接，用于實(shí)時(shí)接收所述夏克-哈特曼波前傳感器在角度調(diào)整中的測(cè)量數(shù)據(jù)和三軸位移干涉儀測(cè)得的所述夏克-哈特曼波前傳感器角度調(diào)整量，計(jì)算所述夏克-哈特曼波前傳感器的物理參數(shù)，所述夏克-哈特曼波前傳感器的物理參數(shù)包括所述夏克-哈特曼波前傳感器中微透鏡陣列相對(duì)于光電探測(cè)器安裝的傾斜偏差、微透鏡陣列與光電探測(cè)器之間的距離及所述夏克-哈特曼波前傳感器的傾斜測(cè)量精度中的一種或多種。

2.如權(quán)利要求1所述的波前傳感器的參數(shù)標(biāo)定裝置，其特征在于，所述平面波產(chǎn)生裝置包括：點(diǎn)光源和與所述點(diǎn)光源對(duì)應(yīng)設(shè)置的準(zhǔn)直透鏡。

3.如權(quán)利要求1所述的波前傳感器的參數(shù)標(biāo)定裝置，其特征在于，所述平面波產(chǎn)生裝置采用ZYGO干涉儀。

4.如權(quán)利要求1所述的波前傳感器的參數(shù)標(biāo)定裝置，其特征在于，還包括向所述三軸位移干涉儀提供測(cè)試光的測(cè)試光源。

5.如權(quán)利要求1所述的波前傳感器的參數(shù)標(biāo)定裝置，其特征在于，還包括平面反射鏡，所述平面反射鏡固定在所述夏克-哈特曼波前傳感器上與所述三軸位移干涉儀相對(duì)的一側(cè)。

6.如權(quán)利要求1所述的波前傳感器的參數(shù)標(biāo)定裝置，其特征在于，所述角度調(diào)整包括繞X向調(diào)整和/或繞Y向調(diào)整。

7.一種波前傳感器的參數(shù)標(biāo)定方法，采用如權(quán)利要求1～6任意一項(xiàng)所述的波前傳感器的參數(shù)標(biāo)定裝置，其特征在于，包括：

步驟1：平面波入射至夏克-哈特曼波前傳感器，利用所述夏克-哈特曼波前傳感器記錄初始位置的光斑陣列；

步驟2：對(duì)所述夏克-哈特曼波前傳感器進(jìn)行傾斜角度調(diào)整，利用干涉儀測(cè)量所述夏克-哈特曼波前傳感器的傾斜調(diào)整量，并利用所述夏克-哈特曼波前傳感器記錄調(diào)整后的光斑陣列；

步驟3：根據(jù)所述初始位置的光斑陣列和所述調(diào)整后的光斑陣列變化計(jì)算所述夏克-哈特曼波前傳感器中微透鏡陣列相對(duì)光電探測(cè)器安裝的傾斜偏差。

8.如權(quán)利要求7所述的波前傳感器的參數(shù)標(biāo)定方法，其特征在于，所述步驟3具體為：當(dāng)繞Y向調(diào)整所述夏克-哈特曼波前傳感器的傾斜角度時(shí)，所述干涉儀測(cè)量得到所述夏克-哈特曼波前傳感器繞Y向調(diào)整量δθ_y，對(duì)所述初始位置的光斑陣列和所述調(diào)整后的光斑陣列中對(duì)應(yīng)位置的光斑的X向位置取差值計(jì)算得到每個(gè)光斑在X向的移動(dòng)量δx₁，...，δx_n，再計(jì)算由微透鏡陣列傾斜引起的相鄰光斑的偏移量偏差δd₁，...，δd_n，其中n表示光斑陣列中光斑的數(shù)量，δd_n＝δx_n-δx_n-1；

根據(jù)所述相鄰光斑的偏移量偏差δd₁，...，δd_n和微透鏡陣列的周期P_L計(jì)算所述夏克-哈特曼波前傳感器中微透鏡陣列相對(duì)光電探測(cè)器安裝的傾斜偏差：