[發(fā)明專(zhuān)利]輸送裝置、光刻裝置及物品的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710207667.2
• 申請(qǐng)日: 2017-03-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107272346B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 松平泰尚
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 佳能株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京怡豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11293
• 代理人: 遲軍

本發(fā)明提供輸送裝置、光刻裝置及物品的制造方法，所述輸送裝置將基板輸送到載臺(tái)，所述輸送裝置包括：保持單元，其被構(gòu)造為保持并旋轉(zhuǎn)所述基板；檢測(cè)單元，其被構(gòu)造為檢測(cè)由所述保持單元保持的所述基板的高度；輸送單元，其被構(gòu)造為將所述基板從所述保持單元輸送到所述載臺(tái)；以及控制單元，其被構(gòu)造為基于在所述保持單元旋轉(zhuǎn)所述基板時(shí)獲得的所述檢測(cè)單元的檢測(cè)結(jié)果，控制所述輸送單元對(duì)所述基板的輸送。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及輸送裝置、光刻裝置以及物品的制造方法。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體器件的集成度的提高，電路圖案的多層化不斷進(jìn)步。在電路圖案被多層化的基板中，會(huì)由于層疊的電路圖案而積累變形，導(dǎo)致翹曲(warpage)。然后，光刻裝置還會(huì)在如上所述引起了翹曲的基板上形成電路圖案。

日本特開(kāi)2005-260010號(hào)公報(bào)公開(kāi)了如下方法：根據(jù)由傳感器檢測(cè)到的基板的翹曲量來(lái)控制臂(輸送單元)插入到盒中的高度，以防止當(dāng)臂從盒卸載基板或?qū)⒒逖b載到盒中時(shí)基板接觸到盒。

在光刻裝置中，當(dāng)發(fā)生翹曲的基板被輸送到基板載臺(tái)時(shí)，根據(jù)基板的翹曲幅度，基板還會(huì)接觸光刻裝置中的部件并且受到損壞。因此，在光刻裝置中，優(yōu)選地，在了解基板的翹曲(形狀)之后，將基板輸送到基板載臺(tái)，以避免基板接觸光刻裝置中的部件。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了例如一種有利于避免對(duì)基板的損壞的技術(shù)。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種將基板輸送到載臺(tái)的輸送裝置，所述輸送裝置包括：保持單元，其被構(gòu)造為保持并旋轉(zhuǎn)所述基板；檢測(cè)單元，其被構(gòu)造為檢測(cè)由所述保持單元保持的所述基板的高度；輸送單元，其被構(gòu)造為將所述基板從所述保持單元輸送到所述載臺(tái)；以及控制單元，其被構(gòu)造為基于在所述保持單元旋轉(zhuǎn)所述基板時(shí)獲得的所述檢測(cè)單元的檢測(cè)結(jié)果，控制所述輸送單元對(duì)所述基板的輸送。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種輸送基板的輸送裝置，所述輸送裝置包括：載臺(tái)，其被構(gòu)造為旋轉(zhuǎn)所述基板；第一檢測(cè)單元，其被構(gòu)造為在所述載臺(tái)旋轉(zhuǎn)所述基板時(shí)檢測(cè)所述基板的落入第一檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的部分的高度；第二檢測(cè)單元，其被構(gòu)造為檢測(cè)所述基板的落入第二檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的部分的高度；輸送單元，其被構(gòu)造為將所述基板輸送到所述載臺(tái)以經(jīng)過(guò)所述第二檢測(cè)區(qū)域，并將所述基板從所述載臺(tái)輸送到特定位置；以及控制單元，其被構(gòu)造為基于所述第一檢測(cè)單元和所述第二檢測(cè)單元的檢測(cè)結(jié)果，控制所述輸送單元對(duì)所述基板從所述載臺(tái)到所述特定位置的輸送。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種在基板上形成圖案的光刻裝置，所述光刻裝置包括：圖案化單元，其包括載臺(tái)并且被構(gòu)造為在由所述載臺(tái)保持的所述基板上形成圖案；以及輸送裝置，其被構(gòu)造為將所述基板輸送到所述載臺(tái)，其中，所述輸送裝置包括：保持單元，其被構(gòu)造為保持并旋轉(zhuǎn)所述基板；檢測(cè)單元，其被構(gòu)造為檢測(cè)由所述保持單元保持的所述基板的高度；輸送單元，其被構(gòu)造為將所述基板從所述保持單元輸送到所述載臺(tái)；以及控制單元，其被構(gòu)造為基于在所述保持單元旋轉(zhuǎn)所述基板時(shí)獲得的所述檢測(cè)單元的檢測(cè)結(jié)果，控制所述輸送單元對(duì)所述基板的輸送。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種制造物品的方法，所述方法包括：使用光刻裝置在基板上形成圖案；對(duì)形成有圖案的基板進(jìn)行處理以制造所述物品，其中，所述光刻裝置在基板上形成圖案，并且所述光刻裝置包括：圖案化單元，其包括載臺(tái)并且被構(gòu)造為在由所述載臺(tái)保持的所述基板上形成圖案；以及輸送裝置，其被構(gòu)造為將所述基板輸送到所述載臺(tái)，其中，所述輸送裝置包括：保持單元，其被構(gòu)造為保持并旋轉(zhuǎn)所述基板；檢測(cè)單元，其被構(gòu)造為檢測(cè)由所述保持單元保持的所述基板的高度；輸送單元，其被構(gòu)造為將所述基板從所述保持單元輸送到所述載臺(tái)；以及控制單元，其被構(gòu)造為基于在所述保持單元旋轉(zhuǎn)所述基板時(shí)獲得的所述檢測(cè)單元的檢測(cè)結(jié)果，控制所述輸送單元對(duì)所述基板的輸送。

根據(jù)以下參照附圖對(duì)示例性實(shí)施例的描述，本發(fā)明的其它特征將變得顯而易見(jiàn)。

附圖說(shuō)明

圖1是示出壓印裝置中的圖案化單元的布置的圖；