[發明專利]輸送裝置、光刻裝置及物品的制造方法

有效

• 申請號: 201710207667.2
• 申請日: 2017-03-31
• 公開（公告）號: CN107272346B
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 松平泰尚
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京怡豐知識產權代理有限公司 11293
• 代理人: 遲軍

1.一種將基板輸送到載臺的輸送裝置，所述輸送裝置包括：

保持單元，其被構造為保持所述基板；

檢測單元，其被構造為檢測所述基板的高度；

第一輸送單元，其被構造為將所述基板輸送到所述保持單元；

第二輸送單元，其被構造為將所述基板從所述保持單元輸送到所述載臺；以及

控制器，其被構造為，

通過在所述第一輸送單元輸送所述基板時使所述檢測單元檢測所述基板的高度分布，來獲得第一分布，所述第一分布指示所述基板在所述第一輸送單元對所述基板的輸送方向上的高度分布，

基于所獲得的第一分布確定是否能夠通過第二輸送單元將基板從保持單元輸送到載臺，

在確定基板能夠被輸送到載臺的情況下，使所述第二輸送單元根據基于所獲得的第一分布而確定的輸送路徑，來將所述基板輸送到載臺，而

在確定基板不能夠被輸送到載臺的情況下，取消第二輸送單元對基板到載臺的輸送。

2.根據權利要求1所述的輸送裝置，其中，所述檢測單元包括各自被構造為檢測所述基板的高度的多個檢測器，所述多個檢測器被布置為在與輸送方向不同的方向上彼此偏移。

3.根據權利要求1所述的輸送裝置，其中，所述控制器基于所述第一分布確定所述輸送路徑，以避免所述基板與所述載臺接觸。

4.根據權利要求1所述的輸送裝置，其中，在基于所述檢測單元的檢測結果預測在所述第一輸送單元對所述基板的輸送期間所述基板與所述保持單元接觸的情況下，所述控制器取消所述第一輸送單元對所述基板到保持單元的輸送。

5.根據權利要求1所述的輸送裝置，其中，所述控制器確定所述輸送路徑，以在所述第二輸送單元對所述基板的從保持單元到載臺的輸送期間調整所述基板的高度。

6.一種將基板輸送到載臺的輸送裝置，所述輸送裝置包括：

保持單元，其被構造為保持并旋轉所述基板；

檢測單元，其被構造為檢測所述基板的高度；

第二輸送單元，其被構造為將所述基板從所述保持單元輸送到所述載臺；以及

控制器，其被構造為，

通過在所述保持單元保持并旋轉所述基板時使所述檢測單元檢測所述基板的高度分布，來獲得第二分布，所述第二分布指示所述基板在所述基板的圓周方向上的高度分布，

基于所獲得的第二分布，確定基板是否能夠被第二輸送單元從保持單元輸送到載臺，

在確定基板能夠被輸送到載臺的情況下，使所述第二輸送單元根據基于所獲得的第二分布而確定的輸送路徑，來將所述基板輸送到載臺，而

在確定基板不能夠被輸送到載臺的情況下，取消第二輸送單元對基板到載臺的輸送。

7.根據權利要求6所述的輸送裝置，其中，所述控制器基于所述第二分布，控制在將所述基板從所述第二輸送單元傳送到所述載臺上時要從所述載臺突出的銷的突出量。

8.根據權利要求6所述的輸送裝置，其中，所述檢測單元包括各自被構造為檢測所述基板的高度的多個檢測器，所述多個檢測器被布置為，使各個檢測器在對所述基板的高度的檢測區域與通過所述保持單元進行的旋轉的中心之間具有不同的距離。

9.根據權利要求6所述的輸送裝置，所述控制器基于所述第二分布確定所述輸送路徑，以避免所述基板與所述載臺接觸。

10.根據權利要求6所述的輸送裝置，所述輸送裝置還包括：第二檢測單元，所述第二檢測單元被構造為在所述保持單元保持并旋轉所述基板時檢測所述基板的邊緣，

其中，所述控制器基于所述第二檢測單元檢測到的所述基板的邊緣和所述第二分布，來確定所述輸送路徑。