[發(fā)明專利]壓力傳感器等電壓接線法及壓力傳感器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710207095.8
• 申請日: 2017-03-31
• 公開（公告）號: CN108663142A
• 公開（公告）日: 2018-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李立強;孟彥成;李紅衛(wèi);王曙光
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18
• 代理公司: 南京利豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32256
• 代理人: 王鋒

本發(fā)明公開了一種壓力傳感器等電壓式接線法及壓力傳感器，所述等電壓接線法包括：提供壓力傳感器，所述壓力傳感器包括壓敏電阻結(jié)構(gòu)以及第一電極，所述壓敏電阻結(jié)構(gòu)具有第一表面和與第一表面相背對的第二表面，所述壓敏電阻結(jié)構(gòu)的第一表面與所述第一電極電性接觸，所述第二表面包括電極連接面，所述電極連接面為一連續(xù)的面狀區(qū)域或間隔分布的多個不同的面狀區(qū)域；設(shè)置面狀良導(dǎo)體，并使所述面狀良導(dǎo)體與所述電極連接面電性結(jié)合，所述良導(dǎo)體的導(dǎo)電率大于所述壓敏電阻結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電率，使得在將所述面狀良導(dǎo)體表面的任意一個以上位置與電源電連接時，所述電極連接面基本處于等電壓的狀態(tài)。所述壓力傳感器的等電壓式接線方法，方法簡單，可廣泛應(yīng)用。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種電子器件電極的接線方法，特別涉及一種壓力傳感器等電壓接線法及壓力傳感器，屬于電子器件技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

隨著智能領(lǐng)域的長足發(fā)展，柔性可穿戴設(shè)備吸引了人們大量的注意力。而壓力傳感器作為可穿戴設(shè)備的核心器件之一，自然是研究熱點。針對壓力傳感器的研究，主要涉及器件本身的可感知壓力的區(qū)域，線性度，以及靈敏度。尤其是靈敏度，往往被看作是壓力傳感器的核心指標，來考核某一新傳感器的性能。所以，很多研究都致力于改變器件的結(jié)構(gòu)，或者寄希望于在器件的特定部位修飾相關(guān)的材料來提升器件的靈敏度，各種方法都取得一定的進展。

一般來說，參閱圖1所示，壓電阻式壓力傳感器包括上、下兩層，可分別稱為頂層和底層，其中微結(jié)構(gòu)及其以上為頂層，微結(jié)構(gòu)以下為底層。為了提高器件的靈敏度，主要采用包括改變接觸腳的結(jié)構(gòu)(柱形，倒金字塔形等)，以及在接觸腳上修飾有機導(dǎo)電材料。不管如何改變，整個器件的電阻R都可由下式表述為：

R＝R_con+R_bu1k (1)

R_con代表接觸電阻，確定的器件下，其值主要就外界施加的壓力決定，這也是壓電阻式壓力傳感器的原理之所在。R_bu1k代表體相電阻，主要是指由構(gòu)成器件頂層部分的導(dǎo)電材料所引起的電阻，該部分電阻主要由器件頂層部分材料導(dǎo)電屬性(接觸腳上修飾材料的屬性)決定，同時該部分電阻往往還受導(dǎo)線接觸點的位置影響，當(dāng)器件某一接觸腳離導(dǎo)線接觸點足夠遠時，則由該距離決定的體電阻分量便不可忽略。同時由于接觸腳的均勻分布屬性，這種體電阻分量普遍存在并且會累加起來，進而導(dǎo)致整個體電阻R_bulk變成很大的量。在特定的壓力區(qū)間，當(dāng)器件的電阻是一個非常大的值時，器件對由壓力引起的電阻變化的反應(yīng)就會不夠靈敏，甚至出現(xiàn)無法分辨的情形。這樣就導(dǎo)致了，器件對壓力的測試范圍減小，并且靈敏度減弱的現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于提供一種壓力傳感器等電壓式接線法及壓力傳感器，以克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。

為實現(xiàn)前述發(fā)明目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案包括：

本發(fā)明實施例提供了一種壓力傳感器等電壓式接線法，其包括：

提供壓力傳感器，所述壓力傳感器包括壓敏電阻結(jié)構(gòu)以及第一電極，所述壓敏電阻結(jié)構(gòu)具有第一表面和與第一表面相背對的第二表面，所述壓敏電阻結(jié)構(gòu)的第一表面與所述第一電極電性接觸，所述第二表面包括電極連接面，所述電極連接面為一連續(xù)的面狀區(qū)域或間隔分布的多個不同的面狀區(qū)域；

設(shè)置面狀良導(dǎo)體，并使所述面狀良導(dǎo)體與所述電極連接面電性結(jié)合，所述良導(dǎo)體的導(dǎo)電率大于所述壓敏電阻結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電率，使得在將所述面狀良導(dǎo)體表面的任意一個以上位置與電源電連接時，所述電極連接面基本處于等電壓的狀態(tài)。