[發明專利]壓力傳感器等電壓接線法及壓力傳感器

在審

• 申請號: 201710207095.8
• 申請日: 2017-03-31
• 公開（公告）號: CN108663142A
• 公開（公告）日: 2018-10-16
• 發明（設計）人: 李立強;孟彥成;李紅衛;王曙光
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18
• 代理公司: 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32256
• 代理人: 王鋒

1.一種壓力傳感器等電壓式接線法，其特征在于包括：

提供壓力傳感器，所述壓力傳感器包括壓敏電阻結構以及第一電極，所述壓敏電阻結構具有第一表面和與第一表面相背對的第二表面，所述壓敏電阻結構的第一表面與所述第一電極電性接觸，所述第二表面包括電極連接面，所述電極連接面為一連續的面狀區域或間隔分布的多個不同的面狀區域；

設置面狀良導體，并使所述面狀良導體與所述電極連接面電性結合，所述面狀良導體的導電率大于所述壓敏電阻結構的導電率，使得在將所述面狀良導體表面的任意一個以上位置與電源電連接時，所述電極連接面基本處于等電壓的狀態。

2.根據權利要求1所述的壓力傳感器等電壓式接線法，其特征在于：所述面狀良導體包括直接形成在所述電極連接面上的連續良導體材料層；優選的，所述連續良導體材料層的材質選用具有高于所述壓敏電阻結構的導電率的無機導電材料和/或有機導電材料；優選的，所述壓敏電阻結構第二表面整體均為電極連接面。

3.根據權利要求2所述的壓力傳感器等電壓式接線法，其特征在于：所述電極連接面完全被所述連續良導體材料層覆蓋。

4.根據權利要求2所述的壓力傳感器等電壓式接線法，其特征在于：所述連續良導體材料層為沉積于所述電極連接面上的連續金屬層；優選的，所述連續金屬層的材質包括金、銀、鋁中的任意一種或兩種以上的組合。

5.根據權利要求2所述的壓力傳感器等電壓式接線法，其特征在于：所述連續良導體材料層包括由涂覆在所述電極連接面上具有導電屬性的流體材料固化形成的連續良導體材料層或由金屬材料通過蒸鍍方式形成的連續良導體材料層。

6.根據權利要求2-5中任一項所述的壓力傳感器等電壓式接線法，其特征在于：所述連續良導體材料層的厚度在15nm以下，優選為5nm～10nm。

7.根據權利要求1所述的壓力傳感器等電壓式接線法，其特征在于：所述電極連接面上被所述面狀良導體所覆蓋的區域為有效導電面，所述有效導電面的面積小于或等于所述壓敏電阻結構第二表面的整體面積。

8.根據權利要求1所述的壓力傳感器等電壓式接線法，其特征在于還包括：將第二電極與面狀良導體電性結合，并將所述第二電極通過導線與電源電連接；優選的，所述第二電極由施加在所述面狀良導體表面的液態導電膠固化形成；優選的，所述液態導電膠包括導電銀膠或鉀銦合金。

9.根據權利要求1所述的壓力傳感器等電壓式接線法，其特征在于：所述壓敏電阻結構第一表面具有微結構；優選的，所述微結構包括形成于所述壓敏電阻結構第一表面的復數個凸起部；優選的，所述凸起部包括柱形或倒金字塔形；優選的，所述第一電極包括面狀電極；優選的，所述面狀電極包括ITO層。

10.根據權利要求1-5、7-9中任一項所述的壓力傳感器等電壓式接線法，其特征在于：所述壓力傳感器為接觸電阻式壓力傳感器。

11.一種壓力傳感器，包括壓敏電阻結構以及第一電極，所述壓敏電阻結構具有第一表面和與第一表面相背對的第二表面，所述壓敏電阻結構的第一表面與所述第一電極電性接觸，所述第二表面包括電極連接面，所述電極連接面為一連續的面狀區域或間隔分布的多個不同的面狀區域，其特征在于：所述電極連接面還電性結合有面狀良導體，所述面狀良導體的導電率大于所述壓敏電阻結構的導電率，且在將所述面狀良導體表面的任意一個以上位置與電源電連接時，所述電極連接面基本處于等電壓的狀態。

12.根據權利要求11所述的壓力傳感器，其特征在于：所述面狀良導體包括直接形成在所述電極連接面上的連續良導體材料層；優選的，所述連續良導體材料層的材質選用具有高于所述壓敏電阻結構的導電率的無機導電材料和/或有機導電材料；優選的，所述壓敏電阻結構第二表面整體均為電極連接面。