[發明專利]基板輸送裝置、基板處理裝置以及基板處理方法

有效

• 申請號: 201710206582.2
• 申請日: 2017-03-31
• 公開（公告）號: CN107275270B
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 古矢正明
• 申請（專利權）人: 芝浦機械電子株式會社
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

1.一種基板輸送裝置，其特征在于，具備：

第1把持板；

第1爪部，被上述第1把持板支撐，相對于上述第1把持板的表面，在上下具有與基板的外周面抵接的抵接面；

第2把持板，被設置成與上述第1把持板重疊；

第2爪部，被上述第2把持板支撐，相對于上述第1把持板的表面，在上下具有與上述基板的外周面抵接的抵接面；

把持部，以使上述第1爪部與上述第2爪部在與上述基板的外周面相交的方向上接近或遠離的方式，使上述第1把持板以及上述第2把持板相對移動；

升降部，使上述把持部升降；

控制部，使上述把持部執行上述第1把持板以及上述第2把持板的相對移動以及

臂部，使上述把持部沿水平方向移動，

上述控制部，

控制上述臂部以使上述把持部移動至第1位置，上述第1位置為使上述第1爪部及上述第2爪部定位到載置上述基板的第1高度位置的位置；

使移動至上述第1位置的上述把持部向上述第1爪部以及上述第2爪部遠離的方向執行上述第1把持板以及上述第2把持板的相對移動；

控制上述升降部，以便不改變上述第1把持板以及上述第2把持板的水平位置地使上述把持部移動至第2位置，上述第2位置為使上述第1爪部及上述第2爪部定位到位于上述第1高度位置的上方或下方的第2高度位置的位置；

使移動至上述第2位置的上述把持部向上述第1爪部與上述第2爪部接近的方向執行上述第1把持板以及上述第2把持板的相對移動。

2.根據權利要求1所述的基板輸送裝置，其特征在于，

上述第1爪部具有：

上爪，被設置在上述第1把持板的上表面，并具有上述抵接面；和

下爪，被設置在上述第1把持板的下表面，并具有上述抵接面。

3.一種基板處理裝置，其特征在于，具備：

收納部，將多個基板以規定間隔層疊來進行收納；

基板輸送裝置，輸送上述基板；以及

基板處理部，對上述基板進行處理，

上述基板輸送裝置具有：

第1把持板；

第1爪部，被上述第1把持板支撐，相對于上述第1把持板的表面，在上下具有與基板的外周面抵接的抵接面；

第2把持板，被設置成與上述第1把持板重疊；

第2爪部，被上述第2把持板支撐，相對于上述第1把持板的表面，在上下具有與上述基板的外周面抵接的抵接面；

把持部，以使上述第1爪部與上述第2爪部在與上述基板的外周面相交的方向上接近或遠離的方式，使上述第1把持板以及上述第2把持板相對移動；

升降部，使上述把持部升降；以及

控制部，使上述把持部執行上述第1把持板以及上述第2把持板的相對移動；

臂部，使上述把持部沿水平方向移動，

上述控制部，

控制上述臂部以使上述把持部移動至第1位置，上述第1位置為使上述第1爪部及上述第2爪部定位到載置上述基板的第1高度位置的位置；

使移動至上述第1位置的上述把持部向上述第1爪部以及上述第2爪部遠離的方向執行上述第1把持板以及上述第2把持板的相對移動；

控制上述升降部，以便不改變上述第1把持板以及上述第2把持板的水平位置地使上述把持部移動至第2位置，上述第2位置為使上述第1爪部及上述第2爪部定位到位于上述第1高度位置的上方或下方的第2高度位置的位置；

使移動至上述第2位置的上述把持部向上述第1爪部以及上述第2爪部接近的方向執行上述第1把持板以及上述第2把持板的相對移動。

4.根據權利要求3所述的基板處理裝置，其特征在于，

上述第1爪部具有：

上爪，被設置在上述第1把持板的上表面，并具有上述抵接面；和

下爪，被設置在上述第1把持板的下表面，并具有上述抵接面。

5.根據權利要求3或4所述的基板處理裝置，其特征在于，

上述基板處理部具有：

基板處理臺；

多個支撐部件，設置于上述基板處理臺并從下表面支撐上述基板；以及

基板升降部，從上述多個支撐部件的外側支撐上述基板而使上述基板升降。

6.一種基板處理方法，其特征在于，使用基板輸送裝置執行基板處理工序，

上述基板輸送裝置具備：第1把持板；第1爪部，被上述第1把持板支撐，相對于上述第1把持板的表面，在上下具有與基板的外周面抵接的抵接面；第2把持板，被設置成與上述第1把持板重疊；第2爪部，被上述第2把持板支撐，相對于上述第1把持板的表面，在上下具有與上述基板的外周面抵接的抵接面；把持部，以使上述第1爪部與上述第2爪部在與上述基板的外周面相交的方向上接近或遠離的方式，使上述第1把持板以及上述第2把持板相對移動；升降部，使上述把持部升降；控制部，使上述把持部執行上述第1把持板以及上述第2把持板的相對移動；以及臂部，使上述把持部沿水平方向移動，

上述基板處理工序包括：

控制上述臂部以使上述把持部移動至第1位置的工序，上述第1位置為使上述第1爪部及上述第2爪部定位到載置上述基板的第1高度位置的位置；

使移動至上述第1位置的上述把持部向上述第1爪部以及上述第2爪部遠離的方向執行上述第1把持板以及上述第2把持板的相對移動的工序；

控制上述升降部，以便不改變上述第1把持板以及上述第2把持板的水平位置地使上述把持部移動至第2位置的工序，上述第2位置為使上述第1爪部及上述第2爪部定位到位于上述第1高度位置的上方或下方的第2高度位置的位置；以及

使移動至上述第2位置的上述把持部向上述第1爪部以及上述第2爪部接近的方向執行上述第1把持板以及上述第2把持板的相對移動的工序。