[發(fā)明專利]半導(dǎo)體裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710203142.1
• 申請(qǐng)日: 2017-03-30
• 公開（公告）號(hào): CN108417626B
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林立凡;楊竣杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)達(dá)電子工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L29/778
• 分類號(hào): H01L29/778;H01L29/417
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;章侃銥

1.一種半導(dǎo)體裝置，包含：

一主動(dòng)層，具有一主動(dòng)區(qū)；

至少一源極電極與至少一漏極電極，置于該主動(dòng)層的該主動(dòng)區(qū)上且沿著一第一方向排列；

至少一柵極電極，置于該主動(dòng)層的該主動(dòng)區(qū)上，且置于該源極電極與該漏極電極之間；

一第一絕緣層，置于該源極電極、該漏極電極與該柵極電極上；

一第二絕緣層，置于該第一絕緣層上；

一第三絕緣層，置于該第一絕緣層與該主動(dòng)層之間；

一第一源極墊，電性連接該源極電極，該第一源極墊包含：

至少一第一下源極分支，沿著一第二方向延伸，置于該第一絕緣層與該第二絕緣層之間，且置于該源極電極上，其中該第二方向不同于該第一方向；以及

一第一源極本體，置于該第二絕緣層與該主動(dòng)層的該主動(dòng)區(qū)上，且沿著該第一方向延伸；以及

一第一漏極墊，電性連接該漏極電極，該第一漏極墊包含：

至少一第一下漏極分支，沿著該第二方向延伸，置于該第一絕緣層與該第二絕緣層之間，且置于該漏極電極上；以及

一第一漏極本體，置于該第二絕緣層與該主動(dòng)層的該主動(dòng)區(qū)上，且沿著該第一方向延伸；

其中該源極電極包含：

一下源極部，置于該第三絕緣層與該主動(dòng)層之間；

一上源極部，置于該第一絕緣層與該第三絕緣層之間，其中該下源極部電性連接至該上源極部；以及

至少一貫穿結(jié)構(gòu)，連接于該下源極部與該上源極部之間。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中該第一源極墊還包含一第一上源極分支，置于該第二絕緣層與該第一下源極分支上，且自該第一源極本體突出。

3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置，其中該第一漏極墊還包含一第一上漏極分支，置于該第二絕緣層與該第一下漏極分支上，且自該第一漏極本體突出。

4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中該第一下源極分支的數(shù)量為多個(gè)，且所述第一下源極分支彼此隔開。

5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體裝置，其中該第一下漏極分支的數(shù)量為多個(gè)，且所述第一下漏極分支彼此隔開。

6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中該源極電極與該第一漏極墊的該第一漏極本體之間形成一空間，且該第一下源極分支置于該空間之外。

7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中該第一絕緣層與該第二絕緣層的總厚度大于4微米。

8.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中該第一源極墊為多個(gè)，所述第一源極墊置于該第一絕緣層與該主動(dòng)層的該主動(dòng)區(qū)上。

9.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體裝置，其中該第一漏極本體為多個(gè)，所述第一漏極墊置于該第一絕緣層與該主動(dòng)層的該主動(dòng)區(qū)上且與所述第一源極墊沿著該第二方向交替排列。

10.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中該第一源極墊于該主動(dòng)層的正投影形成一源極墊區(qū)域，且該漏極電極于該主動(dòng)層的正投影形成一漏極區(qū)域，該源極墊區(qū)域重疊至少部分的該漏極區(qū)域，且該源極墊區(qū)域與該漏極區(qū)域的重疊區(qū)域的面積小于或等于40％的該漏極區(qū)域的面積。

11.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中該漏極電極包含：

一下漏極部，置于該第三絕緣層與該主動(dòng)層之間；以及

一上漏極部，置于該第一絕緣層與該第三絕緣層之間，其中該下漏極部電性連接至該上漏極部。

12.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置，還包含：

一第四絕緣層，置于該第一源極墊與該第一漏極墊上；

一第二源極墊，置于該第四絕緣層上，并電性連接至該第一源極墊；以及

一第二漏極墊，置于該第四絕緣層上，并電性連接至該第一漏極墊。