[發(fā)明專利]探針卡檢測(cè)方法及系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710200516.4
• 申請(qǐng)日: 2017-03-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108663380A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳炯男
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吉而特科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/95
• 分類號(hào): G01N21/95
• 代理公司: 北京匯智英財(cái)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11301
• 代理人: 陳?ài)`實(shí)

本發(fā)明提供一種探針卡檢測(cè)方法及系統(tǒng)，提供自動(dòng)化全區(qū)檢測(cè)探針卡偏移針、缺針、針點(diǎn)氧化、磨耗、損壞及融斷等。其主要包括一線性掃瞄鏡頭模塊、一CCD顯微鏡頭模塊、一CCD影像調(diào)針模塊及一計(jì)算機(jī)裝置，通過(guò)計(jì)算機(jī)裝置控制，由CCD顯微鏡頭模塊來(lái)調(diào)整及確認(rèn)待測(cè)探針卡的掃瞄光學(xué)焦距，再對(duì)該待測(cè)探針卡全區(qū)掃瞄，并與一預(yù)設(shè)的坐標(biāo)檔比對(duì)，以檢測(cè)出不良針，再載送到CCD影像調(diào)針模塊調(diào)校及處理，并在計(jì)算機(jī)裝置上顯示及操作。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種探針卡檢測(cè)方法及系統(tǒng)，尤其是指一種可以自動(dòng)化全區(qū)檢測(cè)出探針卡的探針點(diǎn)不良、磨損、氧化、融斷、缺針及偏移針的方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)上，探針卡檢測(cè)裝置，利用一治具將探針卡定位在一平臺(tái)上，此平臺(tái)上具有一模擬晶圓各個(gè)針點(diǎn)墊的位置標(biāo)示，并以一顯微鏡來(lái)觀測(cè)探針卡的針點(diǎn)位置是否符合各個(gè)針點(diǎn)墊的位置，并由一計(jì)算機(jī)裝置的顯示器所顯示出來(lái)，若觀測(cè)到探針卡的針點(diǎn)位置與針點(diǎn)墊的標(biāo)示有誤，便由人工將探針卡由平臺(tái)上取出至一校正裝置上調(diào)校針點(diǎn)至正確位置。而其檢測(cè)的方法則必須將整個(gè)探針卡的所有針點(diǎn)區(qū)分為多個(gè)待測(cè)區(qū)塊，再一一地檢測(cè)每個(gè)區(qū)塊，然而，探針卡在觀測(cè)與調(diào)校時(shí)，是在不同裝置上進(jìn)行，因此，探針卡必須以人工移到不同裝置上，顯得非常麻煩，且檢測(cè)過(guò)程中必須記錄區(qū)塊檢測(cè)的順序，如果沒(méi)有正確記錄，可能造成某區(qū)塊被重復(fù)或遺漏等情形，而有浪費(fèi)檢測(cè)時(shí)間或良率低的問(wèn)題。

為了解決上述問(wèn)題，有業(yè)者提出一種改良，如中國(guó)臺(tái)灣實(shí)用新型專利TWM418385號(hào)的探針卡檢測(cè)裝置。其主要提供一可供放置受測(cè)探針卡的平臺(tái)，該平臺(tái)可以Ｘ軸及Ｙ軸的平移；一影像擷取單元，為一數(shù)字相機(jī)，可供擷取探針卡的針點(diǎn)位置，一顯微鏡觀測(cè)單元，供觀測(cè)錯(cuò)位的針點(diǎn)，及一控制單元，該控制單元可以控制平臺(tái)在影像擷取單元及顯微鏡觀測(cè)單元的移動(dòng)；檢測(cè)時(shí)將探針卡區(qū)分為多個(gè)的待測(cè)區(qū)塊Ａ，并分區(qū)逐一的擷取每一區(qū)塊的影像，后由內(nèi)建的一量測(cè)軟件來(lái)判斷針點(diǎn)位置是否正確，對(duì)于針點(diǎn)位置不正確的探針卡，則利用平臺(tái)移送至顯微鏡觀測(cè)單元的位置進(jìn)行觀察并予調(diào)校。

該專利雖然可以解決現(xiàn)有技術(shù)中，利用人工將探針卡拆下再于校正設(shè)備上安裝調(diào)校的問(wèn)題，但是，該技術(shù)尚有以下問(wèn)題：1、該專利必須將探針卡區(qū)分為多個(gè)區(qū)塊，然后分區(qū)拍攝影像再逐一比對(duì)，而探針卡上有幾萬(wàn)個(gè)針，操作時(shí)有如大海撈針，不僅非常麻煩及容易遺漏，所需花費(fèi)的時(shí)間也很長(zhǎng)，一個(gè)探針卡的檢測(cè)時(shí)間約需40分鐘；2、它是采用逐一且順序地一次比對(duì)一個(gè)區(qū)塊，每一次比對(duì)時(shí)，機(jī)構(gòu)移動(dòng)會(huì)累積誤差，造成后面的誤差更加嚴(yán)重，導(dǎo)致精準(zhǔn)度低；3、另外，該專利采用四角點(diǎn)定位，該定位點(diǎn)若有誤差，則會(huì)把誤差分配到每一針，所以會(huì)影響到全部的針腳，因此，其測(cè)量的數(shù)據(jù)會(huì)受到基準(zhǔn)點(diǎn)影響而發(fā)生誤差；4、其在測(cè)量時(shí)，必須使用環(huán)形光，環(huán)形光會(huì)使得針有缺失的表面會(huì)被蒙蔽，例如，針表面的氧化或磨耗會(huì)看不清楚，因此，無(wú)法檢測(cè)探針表面的不良，像氧化或磨耗，也無(wú)法檢測(cè)探針融斷及缺針，所以，該專利僅能針對(duì)偏位針來(lái)做檢測(cè)；5、調(diào)針時(shí)使用顯微鏡，其須要一個(gè)光罩或底片來(lái)做對(duì)位的依據(jù)，必須花很多人力及時(shí)間去對(duì)位，且調(diào)整針位完全依靠人工來(lái)做，調(diào)的好不好或是否正確，完全沒(méi)有依據(jù)，全憑操作者個(gè)人的感覺(jué)，所以其正確性低，且對(duì)同一點(diǎn)的重復(fù)性的精準(zhǔn)度也低。

另外，大陸公開(kāi)號(hào)為CN102478385A號(hào)的專利公開(kāi)了一種探針卡檢測(cè)方法及系統(tǒng)，其采用的技術(shù)方案與TWM418385號(hào)專利類似，同樣具有上述問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種探針卡檢測(cè)方法及系統(tǒng)。

本發(fā)明一實(shí)施例所提供的探針卡檢測(cè)系統(tǒng)，包括：