[發(fā)明專利]探針卡檢測方法及系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710200516.4
• 申請日: 2017-03-29
• 公開（公告）號: CN108663380A
• 公開（公告）日: 2018-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳炯男
• 申請（專利權(quán)）人: 吉而特科技有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 北京匯智英財專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11301
• 代理人: 陳踐實

1.一種探針卡檢測系統(tǒng)，其特征在于，供檢測一探針卡，包括：

一XY軸移動載臺，該XY軸移動載臺以二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸與Y軸移動，該XY軸移動載臺供放置待測探針卡；

一線性掃瞄鏡頭模塊，該線性掃瞄鏡頭模塊在該XY軸移動載臺動作路徑的上方，并可以在三維坐標(biāo)系統(tǒng)的Z軸移動，該線性掃瞄鏡頭模塊供取得探針卡全區(qū)塊的影像數(shù)據(jù)；

一CCD顯微鏡頭模塊，該CCD顯微鏡頭模塊設(shè)在XY軸移動載臺動作路徑的上方，并可以在三維坐標(biāo)系統(tǒng)的Z軸移動；

一CCD影像調(diào)針模塊，該CCD影像調(diào)針模塊設(shè)在XY軸移動載臺動作路徑的上方，并可以在三維坐標(biāo)系統(tǒng)的Z軸移動；

一計算機(jī)裝置，該計算機(jī)裝置包括一運算模塊、一輸出入模塊及一數(shù)據(jù)庫，該數(shù)據(jù)庫供儲存數(shù)據(jù)并供儲放一探針卡坐標(biāo)文件，該輸出入模塊供輸入指令及輸出圖文信息，該運算模塊用于處理運算輸出入的各項信息；

通過計算機(jī)裝置控制該XY軸移動載臺移動該待測探針卡，由該CCD顯微鏡頭模塊來調(diào)整并確認(rèn)線性掃瞄鏡頭模塊對該待測探針卡的掃瞄光學(xué)焦距，再利用線性掃瞄鏡頭模塊掃瞄該待測探針卡全區(qū)數(shù)據(jù)，該全區(qū)數(shù)據(jù)并與坐標(biāo)文件數(shù)據(jù)比對，以檢測不良針，而在CCD顯微鏡頭模塊處理針點質(zhì)量問題，或通過XY軸移動載臺將待測探針卡移送到CCD影像調(diào)針模塊的位置來調(diào)校及處理偏移針，并在輸出入模塊上顯示及操作。

2.如權(quán)利要求1所述的探針卡檢測系統(tǒng)，其特征在于，該CCD影像調(diào)針模塊，包括：

一中間鏡頭組，包括一中間CCD相機(jī)及一中間高倍率鏡頭；

一第一側(cè)鏡頭組，包括一第一側(cè)CCD相機(jī)及一第一側(cè)高倍率鏡頭；

一第二側(cè)鏡頭組，包括一第二側(cè)CCD相機(jī)及一第二側(cè)高倍率鏡頭；

該中間鏡頭組呈上下直立配置，該第一側(cè)鏡頭組上下斜向地配置在中間鏡頭組的一側(cè)，該第一側(cè)高倍率鏡頭往中間高倍率鏡頭方向偏斜，該第二側(cè)鏡頭組呈上下斜向地配置在中間鏡頭組的另一側(cè)，該第二側(cè)高倍率鏡頭往中間高倍率鏡頭方向偏斜，該中間鏡頭組、第一側(cè)鏡頭組及第二側(cè)鏡頭組的中心位置在對象為同一點。

3.如權(quán)利要求1所述的探針卡檢測系統(tǒng)，其特征在于，該ＸＹ軸移動載臺包括：

一X軸滑臺機(jī)構(gòu)，該X軸滑臺機(jī)構(gòu)具有一X軸滑臺、兩個平行的X軸導(dǎo)軌、一X軸螺桿及一伺服馬達(dá)，該X軸滑臺設(shè)有滑塊，該滑塊滑動地設(shè)在X軸導(dǎo)軌上，該X軸滑臺設(shè)有一可受X軸螺桿驅(qū)動的驅(qū)動座，該X軸螺桿與伺服馬達(dá)輸出連接；

一Y軸滑臺機(jī)構(gòu)，該Y軸滑臺機(jī)構(gòu)具有一Y軸滑臺、兩個平行的Y軸導(dǎo)軌、一Y軸螺桿及一伺服馬達(dá)，該Y軸滑臺設(shè)有滑塊，該滑塊滑動地設(shè)在Y軸導(dǎo)軌上，該Y軸滑臺設(shè)有一可受Y軸螺桿驅(qū)動的驅(qū)動座，該Y軸螺桿與伺服馬達(dá)輸出連接，該Y軸導(dǎo)軌固定在X軸滑臺上。

4.如權(quán)利要求1所述的探針卡檢測系統(tǒng)，其特征在于，還包括一第一Z軸移動模塊及一第二Z軸移動模塊，該第一Z軸移動模塊包括一支架、一螺桿、一伺服馬達(dá)、一驅(qū)動座、一滑軌及一滑塊，該滑塊滑動地設(shè)在滑軌上，該驅(qū)動座設(shè)于螺桿上并受螺桿帶動而直線移動，該螺桿與該伺服馬達(dá)輸出連接，該伺服馬達(dá)及滑軌則固定在支架上，而線性掃瞄鏡頭模塊固定在滑塊及驅(qū)動座上；該第二Z軸移動模塊包括一支架、一螺桿、一伺服馬達(dá)、一驅(qū)動座、一滑軌及一滑塊，該滑塊滑動地設(shè)在滑軌上，該驅(qū)動座設(shè)于螺桿上并受螺桿帶動而直線移動，該螺桿與該伺服馬達(dá)輸出連接，該伺服馬達(dá)及滑軌則固定在支架上，而CCD影像調(diào)針模塊則固定在滑塊及驅(qū)動座上。

5.如權(quán)利要求4所述的探針卡檢測系統(tǒng)，其特征在于，該CCD顯微鏡頭模塊與該線性掃瞄鏡頭模塊固定在一起，以形成同步運動。

6.如權(quán)利要求5所述的探針卡檢測系統(tǒng)，其特征在于，該CCD顯微鏡頭模塊與該線性掃瞄鏡頭模塊對探針卡焦距的水平設(shè)定相同。

7.如權(quán)利要求1所述的探針卡檢測系統(tǒng)，其特征在于，還包括一XY軸光學(xué)尺，該XY軸光學(xué)尺提供待側(cè)探針卡的位置數(shù)據(jù)給計算機(jī)裝置，供線性掃瞄鏡頭模塊掃瞄取像。

8.如權(quán)利要求1所述的探針卡檢測系統(tǒng)，其特征在于，該輸出入模塊為觸控式液晶屏幕。