[發明專利]一種單晶爐真空管道清理方法在審
| 申請號： | 201710197096.9 | 申請日： | 2017-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN106914460A | 公開（公告）日： | 2017-07-04 |
| 發明（設計）人： | 周杰;沈浩鋒;周林偉;朱偉忠;蘇靜洪 | 申請（專利權）人： | 天通吉成機器技術有限公司 |
| 主分類號： | B08B9/027 | 分類號： | B08B9/027;F16L55/24;C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉興*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 單晶爐 真空 管道 清理 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種單晶爐真空管道清理方法，其特征在于，在長晶加熱時，向真空管道內通入含氧氣體，所述含氧氣體與所述真空管道內壁上附著的SiOx進行燃燒反應，得到粉末狀物質，所述粉末狀物質被抽吸排出所述真空管道外。
2.根據權利要求1所述的單晶爐真空管道清理方法，其特征在于，所述粉末狀物質通過真空泵抽吸排出所述真空管道外。
3.根據權利要求1或2所述的單晶爐真空管道清理方法，其特征在于，在向所述真空管道內通入含氧氣體時，根據SiOx的含量調節通入所述含氧氣體的流量。
4.根據權利要求3所述的單晶爐真空管道清理方法，其特征在于，在向所述真空管道內通入含氧氣體時，設定最大含氧氣體通入流量限值。
5.根據權利要求1所述的單晶爐真空管道清理方法，其特征在于，所述含氧氣體為空氣、氧氣或含氧混合氣體。
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