[發(fā)明專利]一種晶圓針測(cè)機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710195259.X
• 申請(qǐng)日: 2017-03-29
• 公開（公告）號(hào): CN106990348A
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王印璽;陶源;江姜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽超元半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/28
• 分類號(hào): G01R31/28;G05D27/02
• 代理公司: 上海華誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司31300
• 代理人: 董澤宇

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓測(cè)試設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓針測(cè)機(jī)。

背景技術(shù)

晶圓測(cè)試對(duì)環(huán)境要求非常高,針測(cè)機(jī)對(duì)晶圓做針測(cè)需要在無塵室環(huán)境下進(jìn)行。無塵室亦稱為潔凈室，它是污染控制的基礎(chǔ)。控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。

芯片設(shè)計(jì)公司或晶圓代工廠在芯片試生產(chǎn)階段需要對(duì)制造出的晶圓做晶圓測(cè)試，測(cè)試除了需要購買測(cè)試設(shè)備還需要建造無塵室。目前能滿足芯片設(shè)計(jì)研發(fā)公司或機(jī)構(gòu)做晶圓測(cè)試所使用的100級(jí)無塵室其造價(jià)達(dá)最低達(dá)百萬人名幣以上。對(duì)于成立初期的設(shè)計(jì)公司難以負(fù)擔(dān)。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中缺陷與不足的問題，本發(fā)明提出了一種晶圓針測(cè)機(jī)，可以在非潔凈室環(huán)境下進(jìn)行晶圓測(cè)試，解決了針測(cè)機(jī)對(duì)晶圓做針測(cè)必須在無塵室內(nèi)進(jìn)行的問題，為企業(yè)大大節(jié)省了生產(chǎn)成本。

本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種晶圓針測(cè)機(jī)，包括針測(cè)機(jī)主體、晶圓傳輸裝置、空氣凈化器一、空氣凈化器二和溫濕度控制器，所述晶圓傳輸裝置與針測(cè)機(jī)主體相連，空氣凈化器一固定在晶圓傳輸裝置上，針測(cè)機(jī)主體上安裝有空氣凈化器二和溫濕度控制器。

進(jìn)一步的，所述針測(cè)機(jī)主體設(shè)有晶圓針測(cè)工作臺(tái)，其工作臺(tái)外設(shè)有可密封護(hù)罩。

進(jìn)一步的，所述晶圓傳輸裝置設(shè)有晶圓輸送通道。

進(jìn)一步的，所述晶圓輸送通道與晶圓針測(cè)工作臺(tái)相連，其通道端口可封閉。

本發(fā)明具有如下有益效果：本發(fā)明通過空氣凈化器將針測(cè)機(jī)主體及晶圓傳輸裝置的內(nèi)部空氣凈化，再配合溫濕度控制器控制晶圓針測(cè)工作臺(tái)內(nèi)環(huán)境達(dá)到無塵室標(biāo)準(zhǔn)，使得所述晶圓針測(cè)機(jī)在非潔凈室環(huán)境下工作也能滿足晶圓測(cè)試的需求，為企業(yè)生產(chǎn)節(jié)約了建造無塵室的大量成本。

附圖說明

圖1為本發(fā)明整體結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本發(fā)明。應(yīng)理解，這些實(shí)施例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本發(fā)明講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明作各種改動(dòng)或修改，這些等價(jià)形式同樣落于本申請(qǐng)所附權(quán)利要求書所限定的范圍。

如圖所示，一種晶圓針測(cè)機(jī)，包括針測(cè)機(jī)主體1、晶圓傳輸裝置2、空氣凈化器一3、空氣凈化器二4和溫濕度控制器5，所述晶圓傳輸裝置2與針測(cè)機(jī)主體1相連，空氣凈化器一3固定在晶圓傳輸裝置2上，針測(cè)機(jī)主體1上安裝有空氣凈化器二4和溫濕度控制器5。

所述針測(cè)機(jī)主體1設(shè)有晶圓針測(cè)工作臺(tái)，其工作臺(tái)外設(shè)有可密封護(hù)罩。

所述晶圓傳輸裝置2設(shè)有晶圓輸送通道。

所述晶圓輸送通道與晶圓針測(cè)工作臺(tái)相連，其通道端口可封閉。

具體的，晶圓針測(cè)機(jī)工作前，先設(shè)定好參數(shù)，啟動(dòng)空氣凈化器一3、空氣凈化器二4和溫濕度控制器5，且封閉針測(cè)機(jī)工作臺(tái)和晶圓輸送通道，當(dāng)其內(nèi)部空氣落塵數(shù)、溫濕度控制到Class 100標(biāo)準(zhǔn)（Class 100標(biāo)準(zhǔn)為每立方英尺內(nèi)大于等于0.3的灰塵顆粒不能超過100顆）時(shí)，再將晶圓載入到晶圓傳輸裝置2中，由其輸送到針測(cè)機(jī)主體1的晶圓針測(cè)工作臺(tái)上完成針測(cè)測(cè)試。