[發(fā)明專(zhuān)利]一種晶圓針測(cè)機(jī)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710195259.X | 申請(qǐng)日: | 2017-03-29 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN106990348A | 公開(kāi)(公告)日: | 2017-07-28 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王印璽;陶源;江姜 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 安徽超元半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | G01R31/28 | 分類(lèi)號(hào): | G01R31/28;G05D27/02 |
| 代理公司: | 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司31300 | 代理人: | 董澤宇 |
| 地址: | 247100 安徽省池州市貴池區(qū)*** | 國(guó)省代碼: | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 晶圓針測(cè)機(jī) | ||
1.一種晶圓針測(cè)機(jī),其特征在于:包括針測(cè)機(jī)主體、晶圓傳輸裝置、空氣凈化器一、空氣凈化器二和溫濕度控制器,所述晶圓傳輸裝置與針測(cè)機(jī)主體相連,空氣凈化器一固定在晶圓傳輸裝置上,針測(cè)機(jī)主體上安裝有空氣凈化器二和溫濕度控制器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓針測(cè)機(jī),其特征在于:所述針測(cè)機(jī)主體設(shè)有晶圓針測(cè)工作臺(tái),其工作臺(tái)外設(shè)有可密封護(hù)罩。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓針測(cè)機(jī),其特征在于:所述晶圓傳輸裝置設(shè)有晶圓輸送通道。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓針測(cè)機(jī),其特征在于:所述晶圓輸送通道與晶圓針測(cè)工作臺(tái)相連,其通道端口可封閉。
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- 專(zhuān)利分類(lèi)
G01R 測(cè)量電變量;測(cè)量磁變量
G01R31-00 電性能的測(cè)試裝置;電故障的探測(cè)裝置;以所進(jìn)行的測(cè)試在其他位置未提供為特征的電測(cè)試裝置
G01R31-01 .對(duì)相似的物品依次進(jìn)行測(cè)試,例如在成批生產(chǎn)中的“過(guò)端—不過(guò)端”測(cè)試;測(cè)試對(duì)象多點(diǎn)通過(guò)測(cè)試站
G01R31-02 .對(duì)電設(shè)備、線路或元件進(jìn)行短路、斷路、泄漏或不正確連接的測(cè)試
G01R31-08 .探測(cè)電纜、傳輸線或網(wǎng)絡(luò)中的故障
G01R31-12 .測(cè)試介電強(qiáng)度或擊穿電壓
G01R31-24 .放電管的測(cè)試
- 晶圓測(cè)試方法
- 一種設(shè)定晶圓針測(cè)針壓的自動(dòng)設(shè)定系統(tǒng)
- 一種晶圓針測(cè)機(jī)
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- 一種測(cè)試機(jī)與針測(cè)機(jī)對(duì)準(zhǔn)裝置
- 用于晶圓測(cè)試系統(tǒng)的光源調(diào)校系統(tǒng)以及光源調(diào)校方法
- 晶圓針測(cè)機(jī)用空氣凈化裝置
- 缺陷檢測(cè)晶圓圖優(yōu)化方法及其優(yōu)化系統(tǒng)
- 測(cè)試系統(tǒng)





