[發(fā)明專(zhuān)利]一種晶圓針測(cè)機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710195259.X
• 申請(qǐng)日: 2017-03-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106990348A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-07-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王印璽;陶源;江姜
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 安徽超元半導(dǎo)體有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/28
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/28;G05D27/02
• 代理公司: 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司31300
• 代理人: 董澤宇

1.一種晶圓針測(cè)機(jī)，其特征在于：包括針測(cè)機(jī)主體、晶圓傳輸裝置、空氣凈化器一、空氣凈化器二和溫濕度控制器，所述晶圓傳輸裝置與針測(cè)機(jī)主體相連，空氣凈化器一固定在晶圓傳輸裝置上，針測(cè)機(jī)主體上安裝有空氣凈化器二和溫濕度控制器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓針測(cè)機(jī)，其特征在于：所述針測(cè)機(jī)主體設(shè)有晶圓針測(cè)工作臺(tái)，其工作臺(tái)外設(shè)有可密封護(hù)罩。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓針測(cè)機(jī)，其特征在于：所述晶圓傳輸裝置設(shè)有晶圓輸送通道。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓針測(cè)機(jī)，其特征在于：所述晶圓輸送通道與晶圓針測(cè)工作臺(tái)相連，其通道端口可封閉。