[發(fā)明專利]智能功率模塊、智能功率模塊的制備方法和用電設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710188650.7 | 申請(qǐng)日: | 2017-03-27 |
| 公開(公告)號(hào): | CN106920793B | 公開(公告)日: | 2020-04-17 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 馮宇翔 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 廣東美的制冷設(shè)備有限公司;美的集團(tuán)股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L27/02 | 分類號(hào): | H01L27/02;H01L27/04 |
| 代理公司: | 北京友聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11343 | 代理人: | 尚志峰;汪海屏 |
| 地址: | 528311 廣*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 智能 功率 模塊 制備 方法 用電 設(shè)備 | ||
1.一種智能功率模塊,所述智能功率模塊設(shè)有基板,所述基板上設(shè)有電路布線區(qū),所述電路布線區(qū)的指定區(qū)域?yàn)楹附訁^(qū),其特征在于,所述智能功率模塊包括:
多個(gè)MOSFET功率器件,多個(gè)所述MOSFET功率器件的底側(cè)面焊接于所述焊接區(qū)中的器件區(qū),多個(gè)所述MOSFET功率器件之間通過所述電路布線區(qū)或邦定線連接,所述MOSFET功率器件內(nèi)設(shè)置有快速恢復(fù)二極管;
柵極驅(qū)動(dòng)器件,設(shè)于每個(gè)所述MOSFET功率器件的頂側(cè)面,通過金屬連線橋接至所述電路布線區(qū);
第一絕緣層,設(shè)于所述基板和所述MOSFET功率器件之間;
第二絕緣層,設(shè)于所述柵極驅(qū)動(dòng)器件和所述MOSFET功率器件之間;
所述第二絕緣層內(nèi)摻雜有散熱顆粒,所述散熱顆粒的形狀包括球形和角型。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的智能功率模塊,其特征在于,所述MOSFET功率器件包括:
MOSFET管;
體二極管,串聯(lián)連接于所述MOSFET管的源極和漏極之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的智能功率模塊,其特征在于,還包括:
封裝外殼,半包覆于所述基板的正側(cè)面,或全包覆于整個(gè)所述基板,以完全覆蓋所述MOSFET功率器件和所述柵極驅(qū)動(dòng)器件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的智能功率模塊,其特征在于,還包括:
載具,套設(shè)于所述基板的外側(cè),所述載具上設(shè)有引腳,所述引腳焊接于所述焊接區(qū)中的引腳區(qū)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的智能功率模塊,其特征在于,還包括:
阻焊層,設(shè)于所述電路布線區(qū)上除所述焊接區(qū)以外的區(qū)域。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的智能功率模塊,其特征在于,還包括:
合金層,設(shè)于所述引腳的表層,所述合金層的厚度范圍為0.1~10微米。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的智能功率模塊,其特征在于,
所述合金層的厚度為5微米。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的智能功率模塊,其特征在于,
所述邦定線的線寬范圍為350~400微米。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的智能功率模塊,其特征在于,
所述金屬連線的線寬范圍為38~200微米。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的智能功率模塊,其特征在于,
所述電路布線區(qū)的厚度為0.0175毫米或0.035毫米或0.07毫米。
11.一種智能功率模塊的制備方法,其特征在于,包括:
在形成第一絕緣層的基板上形成電路布線區(qū),所述電路布線區(qū)的指定區(qū)域?yàn)楹附訁^(qū);
在所述電路布線區(qū)上不需要后續(xù)焊接的區(qū)域形成阻焊層;
在所述焊接區(qū)中的器件區(qū)焊接MOSFET功率器件,所述MOSFET功率器件內(nèi)設(shè)置有快速恢復(fù)二極管;
在所述MOSFET功率器件的頂側(cè)面形成第二絕緣層;
在所述第二絕緣層的上側(cè)面粘合柵極驅(qū)動(dòng)器件;
在所述柵極驅(qū)動(dòng)器件和所述電路布線區(qū)之間形成金屬連線以橋接;
在所述第二絕緣層的上側(cè)面粘合柵極驅(qū)動(dòng)器件,具體包括以下步驟:
采用點(diǎn)膠機(jī)在所述第二絕緣層的上側(cè)面形成點(diǎn)膠層;
將所述柵極驅(qū)動(dòng)器件通過所述點(diǎn)膠層粘合至所述MOSFET功率器件的頂側(cè)面;
在粘合所述柵極驅(qū)動(dòng)器件后,對(duì)所述點(diǎn)膠層進(jìn)行150℃溫度下的固化處理。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的智能功率模塊的制備方法,其特征在于,還包括:
將載具套設(shè)于所述基板的外側(cè);
將載具的引腳焊接于所述焊接區(qū)中的引腳區(qū)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的多個(gè)半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的;包括至少有一個(gè)躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點(diǎn)的熱電元件的;包括有熱磁組件的





