[發明專利]基板宏觀檢查機

在審

• 申請號: 201710188483.6
• 申請日: 2017-03-27
• 公開（公告）號: CN106918934A
• 公開（公告）日: 2017-07-04
• 發明（設計）人: 徐濤
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司44304
• 代理人: 孫偉峰,顧楠楠

技術領域

本發明涉及一種液晶面板生產技術，特別是一種用于檢查玻璃基板表面的基板宏觀檢查機。

背景技術

現今LTPS(低溫多晶硅技術)的手機(Mobile)產品對產品品質要求越來越高，對產品制作過程中的particle(微粒)管控越來越嚴格，當彩膜產品上有掉落大于1000um²面積的particle時，就會造成液晶盒內的暗點，使人看到的產品有瑕疵。目前，彩膜單制程的流程如下：玻璃基板通過洗凈裝置-涂布裝置-真空干燥裝置-預烘烤裝置-曝光裝置-顯影裝置-烘烤裝置，最后得到完成后的玻璃基板，為了能夠避免玻璃基板膜面顏色不均，會在彩膜黃光線上(即顯影裝置與烘烤裝置之間)外掛一臺設備，對產品進行宏觀色不均勻的抽樣檢查，簡稱macro，此設備需要人員進入設備內進行操作，通過人員手動操作旋轉載臺，載臺上的燈照射到玻璃基板上，用人眼靠近觀察產品上是否有膜面顏色不均的現象，從而對玻璃基板的品質進行判定，但是進行人員容易帶入particle從而污染玻璃基板，造成產品異常。

發明內容

為克服現有技術的不足，本發明提供一種基板宏觀檢查機，將玻璃基板表面清潔干凈后再流出，有效防止微粒附著在玻璃表面上，避免產品異常。

本發明提供了一種基板宏觀檢查機，包括設于顯影裝置以及烘烤裝置之間的機架，在機架上設有用于支撐玻璃基板的支撐部，在支撐部上方設有光源，所述機架上位于支撐部與光源之間設有可沿玻璃基板表面水平移動的抽氣裝置，抽氣裝置通過設于抽氣裝置與機架之間的行走機構驅動。

進一步地，所述抽氣裝置包括設于機架兩側上的支臂，在兩個支臂之間設有風刀，風刀的氣孔與支撐部相對，風刀經管道與抽風機連接。

進一步地，所述行走機構包括設于支臂與機架之間的導軌，導軌的軌道固定于機架與支臂位置相對應處，導軌的滑塊與支臂連接固定，在其中一側的導軌處設有與軌道平行的螺桿，在滑塊上設有螺孔，滑塊經螺孔套在螺桿上并與其螺紋連接，在螺桿的一端通過聯軸器與驅動電機的輸出軸連接，驅動電機通過驅動螺桿轉動從而實現帶動抽氣裝置水平移動。

進一步地，所述行走機構為電動滑臺，電動滑臺分別設于兩個支臂與機架之間，電動滑臺的滑塊與支臂連接，電動滑臺的導軌與機架連接固定。

進一步地，所述風刀與抽風機之間的管道上設有電磁閥。

進一步地，所述風刀的兩端分別通過管道經電磁閥與抽風機連接。

進一步地，所述支撐部包括網格狀的底板，在底板上設有數根用于支撐玻璃基板的支撐臂。

進一步地，所述風刀與玻璃基板的長邊平行。

本發明與現有技術相比，通過在放置玻璃基板的支撐臂與光源之間設置用于吸附玻璃基板表面微粒的抽氣裝置，并通過行走機構驅動，使得檢查后的玻璃基板能夠通過抽氣裝置將表面的微粒吸附干凈，避免造成產品異常。

附圖說明

圖1是本發明的主視圖；

圖2是本發明的俯視圖；

圖3是本發明的抽氣裝置的結構示意圖；

圖4是本發明第一種行走機構的結構示意圖；

圖5是本發明的第二種行走機構的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本發明作進一步詳細說明。

如圖1和圖2所示，本發明公開了一種基板宏觀檢查機，該基板宏觀檢查機設置在彩膜制程中最后兩道制程之間，即顯影裝置與烘烤裝置之間，這樣通過人工進行玻璃基板19的宏觀檢查，用人眼靠近觀察玻璃基板19上的膜面顏色是否有不均勻的現象出現，該基板宏觀檢查機包括機架1，在機架1上設有用于支撐玻璃基板的支撐部2；具體地，該機架1包括設于兩側的主支架18，支撐部2設置在主支架18之間，支撐部2包括網格狀的底板15，在底板15上設有數根用于支撐玻璃基板19的支撐臂16，底板15與主支架18相對的兩側分別與主支架18焊接固定，支撐臂16分別固定在底板15的網格狀的十字交叉點上，支撐臂16通過焊接的方式與底板15連接固定；

在支撐部2上方設有光源3，光源3照射到玻璃基板19上的光線為平行光，由于基板宏觀檢查機需要人眼靠近觀察玻璃基板，在進入設備內時，會帶入如微粒等污染玻璃基板19，造成產品異常，因此，在機架1上位于支撐部2與光源3之間設有可沿玻璃基板19表面水平移動的抽氣裝置4，抽氣裝置4架設在兩個主支架18之上，抽氣裝置4通過設于抽氣裝置4與機架1之間的行走機構驅動，具體地，行走機構是安裝在主支架18與抽氣裝置4之間。