[發(fā)明專利]基板宏觀檢查機(jī)

在審

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• 申請日: 2017-03-27
• 公開（公告）號: CN106918934A
• 公開（公告）日: 2017-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐濤
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司44304
• 代理人: 孫偉峰,顧楠楠

1.一種基板宏觀檢查機(jī)，其特征在于：包括設(shè)于顯影裝置以及烘烤裝置之間的機(jī)架(1)，在機(jī)架(1)上設(shè)有用于支撐玻璃基板的支撐部(2)，在支撐部(2)上方設(shè)有光源(3)，所述機(jī)架(1)上位于支撐部(2)與光源(3)之間設(shè)有可沿玻璃基板表面水平移動的抽氣裝置(4)，抽氣裝置(4)通過設(shè)于抽氣裝置(4)與機(jī)架(1)之間的行走機(jī)構(gòu)驅(qū)動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板宏觀檢查機(jī)，其特征在于：所述抽氣裝置(4)包括設(shè)于機(jī)架(1)兩側(cè)上的支臂(5)，在兩個支臂(5)之間設(shè)有風(fēng)刀(6)，風(fēng)刀(6)的氣孔與支撐部(2)相對，風(fēng)刀(6)經(jīng)管道與抽風(fēng)機(jī)(7)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板宏觀檢查機(jī)，其特征在于：所述行走機(jī)構(gòu)包括設(shè)于支臂(5)與機(jī)架(1)之間的導(dǎo)軌(8)，導(dǎo)軌(8)的軌道(9)固定于機(jī)架(1)與支臂(5)位置相對應(yīng)處，導(dǎo)軌(8)的滑塊(10)與支臂(5)連接固定，在其中一側(cè)的導(dǎo)軌(8)處設(shè)有與軌道(9)平行的螺桿(11)，在滑塊(10)上設(shè)有螺孔(12)，滑塊(10)經(jīng)螺孔(12)套在螺桿(11)上并與其螺紋連接，在螺桿(11)的一端通過聯(lián)軸器與驅(qū)動電機(jī)(13)的輸出軸連接，驅(qū)動電機(jī)(13)通過驅(qū)動螺桿(11)轉(zhuǎn)動從而實(shí)現(xiàn)帶動抽氣裝置(4)水平移動。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板宏觀檢查機(jī)，其特征在于：所述行走機(jī)構(gòu)為電動滑臺(17)，電動滑臺(17)分別設(shè)于兩個支臂(5)與機(jī)架(1)之間，電動滑臺(17)的滑塊與支臂(5)連接，電動滑臺(17)的導(dǎo)軌與機(jī)架(1)連接固定。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板宏觀檢查機(jī)，其特征在于：所述風(fēng)刀(6)與抽風(fēng)機(jī)(7)之間的管道上設(shè)有電磁閥(14)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板宏觀檢查機(jī)，其特征在于：所述風(fēng)刀(6)的兩端分別通過管道經(jīng)電磁閥(14)與抽風(fēng)機(jī)(7)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板宏觀檢查機(jī)，其特征在于：所述支撐部(2)包括網(wǎng)格狀的底板(15)，在底板(15)上設(shè)有數(shù)根用于支撐玻璃基板的支撐臂(16)。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板宏觀檢查機(jī)，其特征在于：所述風(fēng)刀(6)與玻璃基板的長邊平行。