[發(fā)明專利]一種基板吸附機構和基板傳輸設備在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710182101.9 | 申請日： | 2017-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN106865230A | 公開（公告）日： | 2017-06-20 |
| 發(fā)明（設計）人： | 高亞東;于閃閃;李晶晶;李健;徐文結 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | B65G49/06 | 分類號： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司11243 | 代理人： | 許靜,劉偉 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 吸附 機構 傳輸 設備 | ||
1.一種基板吸附機構，其特征在于，包括：
基板吸附部、旋轉軸、支撐部；
所述旋轉軸固定在所述支撐部上；
所述基板吸附部具有相反朝向的第一表面和第二表面，所述第一表面用于吸附基板，所述基板吸附部固定在所述旋轉軸上，并通過所述第二表面與所述支撐部接觸，從而能夠以所述支撐部為支點，基于所述旋轉軸進行以該旋轉軸的軸線為轉動中心的旋轉。
2.根據(jù)權利要求1所述的基板吸附機構，其特征在于，
所述支撐部具有一弧面支撐面，所述基板吸附部能夠通過其第二表面，以所述弧面支撐面的為支點，基于所述旋轉軸進行以該旋轉軸為轉動中心的旋轉。
3.根據(jù)權利要求2所述的基板吸附機構，其特征在于，
所述支撐部的弧面支撐面相對所述旋轉軸的軸線對稱，所述基板吸附部能夠通過其第二表面，以所述弧面支撐面的頂點為支點，基于所述旋轉軸進行以該旋轉軸的軸線為轉動中心的旋轉。
4.根據(jù)權利要求1所述的基板吸附機構，其特征在于，還包括：
兩個固定部，分別固定在所述旋轉軸的兩端，每一固定部均具有一與所述旋轉軸相匹配的過孔，并通過其過孔裝配在所述旋轉軸上；
所述基板吸附部的兩側通過所述兩個固定部固定在所述旋轉軸上，從而能夠通過該兩個固定部與所述旋轉軸的軸孔配合，基于所述旋轉軸進行以該旋轉軸的軸線為轉動中心的旋轉。
5.根據(jù)權利要求3所述的基板吸附機構，其特征在于，
所述基板吸附部呈平板結構；
兩個固定部固定在所述平板結構的中心兩側。
6.根據(jù)權利要求1所述的基板吸附機構，其特征在于，
所述支撐部設置有與所述旋轉軸相匹配的過孔，所述旋轉軸裝配在所述支撐部的過孔內。
7.根據(jù)權利要求1所述的基板吸附機構，其特征在于，
所述第一表面均勻設置有至少一個用于吸附基板的吸盤。
8.根據(jù)權利要求7所述的基板吸附機構，其特征在于，
所述吸盤為多個，且相對所述旋轉軸的軸線對稱。
9.根據(jù)權利要求7所述的基板吸附機構，其特征在于，
所述吸盤由彈性材料制成。
10.一種基板傳輸設備，其特征在于，包括有如權利要求1-9任一項所述的基板吸附機構。
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