[發(fā)明專利]基板上下料系統(tǒng)、基板上料方法及基板下料方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710177740.6
• 申請日: 2017-03-23
• 公開（公告）號(hào): CN106882596B
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 封建林;韓大偉;林建軍;周梁
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號(hào): B65G49/06
• 分類號(hào): B65G49/06
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種基板上下料系統(tǒng)，其特征在于，包括：

基板旋轉(zhuǎn)裝置，具有旋轉(zhuǎn)角度相差90度的第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置和第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置，所述基板旋轉(zhuǎn)裝置包括兩層吸盤組件，每層吸盤組件包括板體、設(shè)置于板體上的多個(gè)支撐吸管以及每個(gè)支撐吸管頂部所連通的第一吸盤，下層吸盤組件的各個(gè)第一吸盤與上層吸盤組件的板體之間具有供基板插入的間隙；

機(jī)械手，包括多根機(jī)械手指，所述多根機(jī)械手指能夠承載沿機(jī)械手指的長度方向排列并拼合為整張基板的兩個(gè)半張基板；在基板上料過程中，所述機(jī)械手從所述基板旋轉(zhuǎn)裝置的兩層吸盤組件上取出兩個(gè)半張基板，兩個(gè)半張基板在所述機(jī)械手指上沿機(jī)械手指的長度方向排列并拼合為整張基板；在基板下料過程中，所述機(jī)械手將加工完后的兩個(gè)半張基板置于所述基板旋轉(zhuǎn)裝置的兩層吸盤組件上，使拼合為整張基板的兩個(gè)半張基板分離。

2.如權(quán)利要求1所述的基板上下料系統(tǒng)，其特征在于，所述上層吸盤組件的板體具有供所述多根機(jī)械手指通過的避讓缺口。

3.如權(quán)利要求1所述的基板上下料系統(tǒng)，其特征在于，所述上層吸盤組件的板體與所述下層吸盤組件的板體通過多個(gè)支撐柱間隔。

4.如權(quán)利要求1所述的基板上下料系統(tǒng)，其特征在于，每個(gè)吸盤組件的所述多個(gè)支撐吸管呈陣列排布。

5.如權(quán)利要求1所述的基板上下料系統(tǒng)，其特征在于，所述機(jī)械手的相鄰兩根機(jī)械手指之間的間距可調(diào)節(jié)。

6.如權(quán)利要求1所述的基板上下料系統(tǒng)，其特征在于，每根機(jī)械手指用于承載基板的一側(cè)具有用于吸附基板的多個(gè)第二吸盤。

7.如權(quán)利要求6所述的基板上下料系統(tǒng)，其特征在于，所述多個(gè)第二吸盤沿機(jī)械手指長度方向分為至少兩組，所述至少兩組第二吸盤能夠分別被控制于吸附狀態(tài)。

8.如權(quán)利要求1～7任一項(xiàng)所述的基板上下料系統(tǒng)，其特征在于，所述基板旋轉(zhuǎn)裝置還包括：

驅(qū)動(dòng)裝置，用于驅(qū)動(dòng)基板旋轉(zhuǎn)裝置在所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置和所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置之間切換；

抽真空設(shè)備，與兩層吸盤組件的每個(gè)支撐吸管連通。

9.一種基板上料方法，其特征在于，包括：

控制機(jī)械手依次將兩個(gè)半張基板從基板儲(chǔ)存卡夾中取出，并將所述兩個(gè)半張基板分別置于處于第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置的基板旋轉(zhuǎn)裝置的兩層吸盤組件上；

控制基板旋轉(zhuǎn)裝置切換至第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置；

控制機(jī)械手依次從處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置的基板旋轉(zhuǎn)裝置的下層吸盤組件和上層吸盤組件上取出兩個(gè)半張基板，所述兩個(gè)半張基板在機(jī)械手指上沿機(jī)械手指的長度方向排列并拼合為整張基板；

控制機(jī)械手將拼合為整張基板的兩個(gè)半張基板運(yùn)送至基板加工設(shè)備中。

10.如權(quán)利要求9所述的基板上料方法，其特征在于，所述控制機(jī)械手依次從處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置的基板旋轉(zhuǎn)裝置的下層吸盤組件和上層吸盤組件上取出兩個(gè)半張基板，包括：

當(dāng)所述基板旋轉(zhuǎn)裝置的上層吸盤組件的板體具有供所述機(jī)械手指通過的避讓缺口時(shí)，控制機(jī)械手從處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置的基板旋轉(zhuǎn)裝置的下層吸盤組件上取出一個(gè)半張基板；

控制機(jī)械手通過所述避讓缺口升至上層吸盤組件；

控制機(jī)械手從處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置的基板旋轉(zhuǎn)裝置的上層吸盤組件上取出另一個(gè)半張基板；

其中，機(jī)械手的機(jī)械手指從下層吸盤組件上取出半張基板的插入位移S1，與從上層吸盤組件上取出半張基板的插入位移S2滿足：S1-S2＝半張基板沿機(jī)械手指長度方向的尺寸。

11.如權(quán)利要求9或10所述的基板上料方法，其特征在于，所述控制機(jī)械手依次從處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置的基板旋轉(zhuǎn)裝置的下層吸盤組件和上層吸盤組件上取出兩個(gè)半張基板之前，還包括：

將機(jī)械手的相鄰兩個(gè)機(jī)械手指之間的間距由第一設(shè)定間距調(diào)節(jié)至第二設(shè)定間距。