[發(fā)明專利]顯影液循環(huán)管理方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710177604.7
• 申請日: 2017-03-20
• 公開（公告）號: CN106802501B
• 公開（公告）日: 2020-07-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 何家鳴;歐陽昊;朱景河;黃偉東;李建華
• 申請（專利權(quán)）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;G03F7/30;C03C15/00
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

1.一種顯影液循環(huán)管理方法，應(yīng)用于顯影設(shè)備中，所述顯影設(shè)備包括顯影腔室、顯影液噴頭、兩個顯影液儲存槽，所述顯影液噴頭安裝于所述顯影腔室內(nèi)，其特征在于，包括如下步驟：

工作步驟：根據(jù)預(yù)設(shè)更換頻率交替更換兩個所述顯影液儲存槽，使兩個所述顯影液儲存槽中的其中一個所述顯影液儲存槽與所述顯影液噴頭連通，未與所述顯影液噴頭連通的另一個所述顯影液儲存槽進行顯影液廢液排空操作，并進行顯影液新液補充操作，將最后一個進行新液補充操作后的所述顯影液儲存槽定義為待機顯影液儲存槽，則另一個所述顯影液儲存槽定義為空閑顯影液儲存槽；

待機步驟：所述顯影設(shè)備在非生產(chǎn)狀態(tài)下，使所述顯影液噴頭與所述待機顯影液儲存槽連通，使所述待機顯影液儲存槽內(nèi)的顯影液在循環(huán)操作中；

過渡步驟：向所述空閑顯影液儲存槽進行顯影液新液補充操作，對所述待機顯影液儲存槽進行顯影液廢液排空操作，并進行顯影液新液補充操作。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影液循環(huán)管理方法，其特征在于，所述對所述待機顯影液儲存槽進行顯影液廢液排空操作，并進行顯影液新液補充操作的步驟包括：

關(guān)閉玻璃基板進入信號，暫停玻璃基板流入，關(guān)閉舊液供液，同時顯影液儲存槽進入清潔程序，并持續(xù)預(yù)設(shè)管道排空時間；打開新顯影液的供液，沖洗供液管道；關(guān)閉所述顯影腔室向換液的顯影液儲存槽的排液閥門，打開腔室向新顯影液儲存槽的排液閥門；重新打開玻璃基板接收信號，流入玻璃基板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影液循環(huán)管理方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)更換頻率根據(jù)在預(yù)設(shè)時間內(nèi)，所述顯影液儲存槽中的顯影液的液位變化值和pH變化值得到。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯影液循環(huán)管理方法，其特征在于，所述顯影液的液位變化值采用如下步驟得到：

采用液位傳感器測量得到所述顯影液儲存槽的顯影液的初始液位值，待所述預(yù)設(shè)時間后，再采用所述液位傳感器測量得到所述顯影液儲存槽的顯影液的當前液位值，所述顯影液儲存槽中的顯影液的液位變化值等于所述顯影液儲存槽的顯影液的初始液位值與所述顯影液儲存槽的顯影液的當前液位值之差。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯影液循環(huán)管理方法，其特征在于，所述顯影液的pH變化值采用如下步驟得到：

采用pH測量儀測量得到所述顯影液儲存槽的顯影液的初始pH值，待所述預(yù)設(shè)時間后，再采用所述pH測量儀測量得到所述顯影液儲存槽的顯影液的當前pH值，所述顯影液儲存槽中的顯影液的pH變化值等于所述顯影液儲存槽的顯影液的初始pH值與所述顯影液儲存槽的顯影液的當前pH值之差。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影液循環(huán)管理方法，其特征在于，對所述待機顯影液儲存槽進行顯影液廢液排空操作，并進行顯影液新液補充操作具體包括如下步驟：

所述顯影腔室接收并響應(yīng)暫停信號，用于控制玻璃基板停止進入至所述顯影腔室內(nèi)；

使所述待機顯影液儲存槽與所述顯影液噴頭斷開；

對所述待機顯影液儲存槽進行廢液排空操作；

向所述待機顯影液儲存槽進行顯影液新液補充操作；

將所述待機顯影液儲存槽重新與所述顯影液噴頭連通；

所述顯影腔室接收并響應(yīng)工作信號，用于控制玻璃基板重新進入至所述顯影腔室內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯影液循環(huán)管理方法，其特征在于，在排空時間內(nèi)對所述顯影液儲存槽執(zhí)行廢液排空操作，所述排空時間根據(jù)所述待機顯影液儲存槽的總?cè)萘亢退龃龣C顯影液儲存槽的廢液排出流量得到。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影液循環(huán)管理方法，其特征在于，所述待機步驟的持續(xù)時間根據(jù)如下函數(shù)得到，

t＝a*T，

其中，t為待機步驟的持續(xù)時間，a為所述顯影設(shè)備的稼動率，T為所述顯影設(shè)備的負荷時間。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影液循環(huán)管理方法，其特征在于，所述顯影設(shè)備還包括顯影液新液供給系統(tǒng)，采用所述顯影液新液供給系統(tǒng)給顯影液儲存槽進行顯影液新液補充操作。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影液循環(huán)管理方法，其特征在于，所述顯影液儲存槽與所述顯影液噴頭之間的連通管道通過閥門以實現(xiàn)連通或斷開操作。