[發明專利]顯影液循環管理方法

有效

• 申請號: 201710177604.7
• 申請日: 2017-03-20
• 公開（公告）號: CN106802501B
• 公開（公告）日: 2020-07-21
• 發明（設計）人: 何家鳴;歐陽昊;朱景河;黃偉東;李建華
• 申請（專利權）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;G03F7/30;C03C15/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

一種顯影液循環管理方法，包括如下步驟：工作步驟：根據預設更換頻率交替使兩個顯影液儲存槽中的其中一個顯影液儲存槽與顯影液噴頭連通，未與顯影液噴頭連通的另一個顯影液儲存槽進行顯影液廢液排空操作，并進行顯影液新液補充操作，將最后一個進行新液補充操作后的顯影液儲存槽定義為待機顯影液儲存槽，則另一個顯影液儲存槽定義為空閑顯影液儲存槽；待機步驟：使顯影液噴頭與待機顯影液儲存槽連通；過渡步驟：向空閑顯影液儲存槽進行顯影液新液補充操作，對待機顯影液儲存槽進行顯影液廢液排空操作，并進行顯影液新液補充操作。上述顯影液循環管理方法能夠減輕顯影液噴頭和顯影液管道堵塞問題，以及能夠節省顯影液用量。

技術領域

本發明涉及顯影液管理技術領域，特別是涉及一種顯影液循環管理方法。

背景技術

隨著智能手機、平板電腦等產品的不斷發展，薄膜晶體管(Thin FilmTransistor，TFT)的液晶顯示器得到越來越廣泛的應用，并促使各大廠商積極地進行產品的研發與制造。液晶顯示器主要包括玻璃基板、液晶、驅動電路單元、背光燈模組和其他附件等幾部分。

其中，當將其他部件安裝至玻璃基板之前，需要對玻璃基板進行刻蝕處理，以得到刻蝕區域，便于安裝其他部件。在對玻璃基本刻蝕操作前，需要對玻璃基板上設置保護層，之后對保護層進行顯影操作，顯影操作中需要使用顯影液，即將玻璃基板放入至容置有顯影液的顯影設備中，待玻璃基板從顯影設備的進板端運動至顯影設備的出版端時，則玻璃基板完成顯影操作。

眾所周知，顯影設備不可能達到100％的稼動率，其中，稼動率是指一臺機器設備實際的生產數量與可能的生產數量的比值，因此，基于種種因素，顯影設備總存在非生產狀態，亦即在非生產狀態下，未對玻璃基板進行顯影操作。

然而，在非生產狀態下，即顯影設備處于停機狀態時，則位于顯影設備的顯影液噴頭附近的顯影液會發生蒸發，殘留的物質會形成結晶物質，這些結晶物質會導致顯影液噴頭發生堵塞問題，并且，顯影操作所使用的堿性顯影液長時間靜置則會在與顯影液噴頭連通的顯影液輸送管道內產生水垢，不利于清潔，堵塞問題嚴重時，甚至影響正常的顯影液輸送功能。

進一步地，顯影設備處于生產狀態時，為保證顯影后的玻璃基板的品質穩定性，會采用比較高的顯影液更換頻率，若在非生產狀態時采用與生產狀態同樣的更換頻率，則又會導致顯影液浪費。

發明內容

基于此，有必要提供一種能夠減輕顯影液噴頭和顯影液管道堵塞問題，以及能夠節省顯影液用量的顯影液循環管理方法。

一種顯影液循環管理方法，應用于顯影設備中，所述顯影設備包括顯影腔室、顯影液噴頭、兩個顯影液儲存槽，所述顯影液噴頭安裝于所述顯影腔室內，包括如下步驟：

工作步驟：根據預設更換頻率交替更換兩個所述顯影液儲存槽，使兩個所述顯影液儲存槽中的其中一個所述顯影液儲存槽與所述顯影液噴頭連通，未與所述顯影液噴頭連通的另一個所述顯影液儲存槽進行顯影液廢液排空操作，并進行顯影液新液補充操作，將最后一個進行新液補充操作后的所述顯影液儲存槽定義為待機顯影液儲存槽，則另一個所述顯影液儲存槽定義為空閑顯影液儲存槽；

待機步驟：使所述顯影液噴頭與所述待機顯影液儲存槽連通；

過渡步驟：向所述空閑顯影液儲存槽進行顯影液新液補充操作，對所述待機顯影液儲存槽進行顯影液廢液排空操作，并進行顯影液新液補充操作。

在其中一個實施例中，順序循環執行所述工作步驟、所述待機步驟和所述過渡步驟。

在其中一個實施例中，所述預設更換頻率根據在預設時間內，所述顯影液儲存槽中的顯影液的液位變化值和pH變化值得到。

在其中一個實施例中，所述顯影液的液位變化值采用如下步驟得到：