[發明專利]一種控制導向管縱向長度的真空蒸鍍設備及其控制方法

有效

• 申請號: 201710172346.3
• 申請日: 2017-03-22
• 公開（公告）號: CN106939406B
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 韓斌
• 申請（專利權）人: 深圳市提姆光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種控制導向管縱向長度的真空蒸鍍設備，包括第一蒸鍍腔（1）、設置于所述第一蒸鍍腔（1）內的第一蒸發源（11）以及基板（12），其特征在于：還包括氣壓傳感器（13）、單片機（14）、驅動電機（15）以及設置在所述基板（12）下方且覆蓋所述基板（12）的蒸鍍面的管陣，所述管陣由若干導向管（16）組成，所述氣壓傳感器（13）與所述導向管（16）的數量相同，所述導向管（16）包括固定管（161）以及套設在所述固定管（161）內部的活動管（162），所述固定管（161）內設置有用于控制所述活動管（162）沿著所述導向管（16）的軸向水平移動的控制裝置（17），所述氣壓傳感器（13）設置在所述固定管（161）的開口處且與所述單片機（14）連接，所述單片機（14）與所述驅動電機（15）連接，所述驅動電機（15）與所述控制裝置（17）連接。

2.根據權利要求1所述的一種控制導向管縱向長度的真空蒸鍍設備，其特征在于：還包括設置在所述第一蒸鍍腔（1）上方的第二蒸鍍腔（2）以及設置在所述第二蒸鍍腔（2）內的第二蒸發源（21）。

3.根據權利要求2所述的一種控制導向管縱向長度的真空蒸鍍設備，其特征在于：所述第一蒸鍍腔（1）內設置有兩端分別與所述第一蒸鍍腔（1）的腔壁密封貼合的擋板（18），所述擋板（18）將所述第一蒸鍍腔（1）分隔成兩個子腔；所述擋板（18）上開設有連通所述兩個子腔的第一蒸發孔（23），所述第二蒸鍍腔（2）底部開設有與所述第一蒸發孔（23）相互對立的第二蒸發孔（24）。

4.根據權利要求3所述的一種控制導向管縱向長度的真空蒸鍍設備，其特征在于：還包括第一通氣管（19）、第二通氣管（20）以及容氣盒（22），所述第一通氣管（19）分別與所述第一蒸發孔（23）以及第二蒸發孔（24）連通，所述第二通氣管（20）與所述第一通氣管（19）垂直且連通，所述容氣盒（22）與所述第二通氣管（20）連通；所述管陣佇立在所述容氣盒（22）的上方，且所述導向管（16）與所述容氣盒（22）的內腔連通。

5.據權利要求4所述的一種控制導向管縱向長度的真空蒸鍍設備，其特征在于：所述第一通氣管（19）在靠近所述第一蒸發孔（23）的一端設置有第一單向閥（191），在靠近所述第二蒸發孔（24）的一端設置有第二單向閥（192），所述第一單向閥（191）的氣體流動控制方向與所述第二單向閥（192）的氣體流動控制方向為相反方向。

6.據權利要求4所述的一種控制導向管縱向長度的真空蒸鍍設備，其特征在于：所述第一蒸發源（11）、第二蒸發源(21)、第一蒸發孔（23）、第二蒸發孔（24）、第一通氣管（19）以及第二通氣管（20）的數量均為兩個。

7.根據權利要求1所述的一種控制導向管縱向長度的真空蒸鍍設備，其特征在于：還包括設置在所述第一蒸鍍腔（1）的腔壁上的多個真空抽氣孔（111）。

8.根據權利要求1-7任一項所述的一種控制導向管縱向長度的真空蒸鍍設備的控制方法，其特征在于，包括以下工作步驟：

（1）、設置在各導向管（16）內的氣壓傳感器（13）將各自檢測出的氣壓值傳輸給單片機（14）；

（2）、單片機（14）執行操作：以兩個導向管（16）為一組，對每組相鄰的導向管（16）內的氣壓傳感器（13）輸出的氣壓值進行計算，具體為，首先將相鄰的氣壓值代入公式L=（P1-P2）·d1進行計算，其中，P1是較大的氣壓值，P2是較小的氣壓值，d1是在所述第一蒸鍍腔（1）內消耗1Pa的蒸氣所需移動的距離，L是待移動距離，具體為較小氣壓值的氣壓傳感器（13）所處導向管（16）內的活動管（162）需要移動的距離；然后將計算得出的L傳輸給驅動電機（15），并向驅動電機（15）輸出提供較小氣壓值的氣壓傳感器（13）所處導向管（16）內的控制裝置（17）進行驅動所對應的控制信號；

（3）、驅動電機（15）向提供較小氣壓值的氣壓傳感器（13）所處導向管（16）內的控制裝置（17）輸出驅動力，以使所述控制裝置（17）控制所處導向管（16）內的活動管（162）沿著所述導向管（16）的軸向水平向前移動L的距離。