[發(fā)明專利]一種光罩及清潔裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710165797.4
• 申請日: 2017-03-20
• 公開（公告）號: CN106842811A
• 公開（公告）日: 2017-06-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張瑞軍;莫超德;范志翔;盧馬才;蔡小龍
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G03F1/38
• 分類號: G03F1/38;G03F1/82
• 代理公司: 北京聿宏知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11372
• 代理人: 吳大建

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及液晶顯示器技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光罩及清潔裝置。

背景技術(shù)

在薄膜晶體管液晶顯示器的黃光曝光制程中，目前采用光罩對電路圖形進行定義，若光罩上有異物，可能造成曝光時異物區(qū)域光路無法通過，出現(xiàn)圖形異常。目前，光罩使用過程中，在上下機臺后需要人員手動使用風(fēng)槍，對光罩表面進行吹拭，以達到對光罩表面異物清潔的目的。

但是人員手動使用風(fēng)槍吹風(fēng)，效率低下，單次清潔需要10分鐘以上。人員使用風(fēng)槍對光罩進行清潔，需要嚴(yán)格控制風(fēng)槍吹風(fēng)大小及吹風(fēng)角度，若吹風(fēng)強度大將可能導(dǎo)致光罩表面膜層吹破，造成光罩報廢。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述問題中存在的不足之處，本發(fā)明提供一種光罩及清潔裝置。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種光罩，包括：

石英玻璃板、透明導(dǎo)電膜、半透明膜和金屬框；其中，

在所述石英玻璃板的下面設(shè)有所述金屬框，所述半透明膜設(shè)置在所述金屬框的下端，在所述石英玻璃板的上面和所述半透明膜的下面均設(shè)有所述透明導(dǎo)電膜。

上述的光罩，在所述石英玻璃板與所述金屬框之間設(shè)有遮光膜。

上述的光罩，所述遮光膜與所述金屬框通過黏著劑連接。

上述的光罩，所述遮光膜為多塊間隔設(shè)置。

上述的光罩，在兩側(cè)的所述遮光膜邊緣處設(shè)有夾持部。

一種清潔裝置，包括：帶有正極電極的上清潔板和下清潔板用于清潔所述光罩表面異物，所述上清潔板和所述下清潔板尺寸相同。

上述的清潔裝置，所述上清潔板和所述下清潔板對稱設(shè)置，所述上清潔板和所述下清潔板之間距離為10毫米，所述上清潔板和所述下清潔板為金屬材質(zhì)。

上述的清潔裝置，還包括絕緣夾具用于夾持所述光罩。

上述的清潔裝置，還包括導(dǎo)電針用于對所述透明導(dǎo)電膜導(dǎo)電。

上述的清潔裝置，還包括設(shè)置在所述上清潔板一側(cè)或所述下清潔板一側(cè)的去離子裝置用于去除所述光罩表面殘留靜電。

在上述技術(shù)方案中，本發(fā)明提供的光罩和清潔裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比，通過在光罩表面設(shè)置透明導(dǎo)電膜，對透明導(dǎo)電膜通電，使得掉落在光罩上的異物帶電；再通過光罩清潔裝置，通過相反電性的上清潔板和下清潔板吸附異物，達到對光罩表面異物潔凈方便快捷的效果。

附圖說明

在下文中將基于實施例并參考附圖來對本發(fā)明進行更詳細(xì)的描述。

圖1為本申請的一個實施例中光罩的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本申請的一個實施例中光罩的準(zhǔn)備清潔前狀態(tài)圖。

圖3為本申請的一個實施例中清潔裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本申請的一個實施例中清潔裝置對光罩進行清潔的狀態(tài)圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步說明。

如圖1所示，示意性地顯示了該光罩1，包括：石英玻璃板12、透明導(dǎo)電膜11、半透明膜15和金屬框16；其中，

在石英玻璃板12的下面設(shè)有金屬框16，半透明膜15設(shè)置在金屬框16的下端，在石英玻璃板12的上面和半透明膜15的下面均設(shè)有透明導(dǎo)電膜11。

通過在光罩1表面設(shè)置透明導(dǎo)電膜11，對透明導(dǎo)電膜11通電，使得掉落在光罩1上的異物20帶電，并通過清潔裝置將異物清除，清除異物效果好，不會產(chǎn)生遺漏。避免造成曝光時異物區(qū)域光路無法通過，出現(xiàn)圖形異常的問題。

特別是，在該光罩表面沉積一層透明導(dǎo)電膜11，透明導(dǎo)電膜11為ITO或有機材料等，通過PVD、CVD、涂膠設(shè)備等進行成膜，透明導(dǎo)電膜11厚度可根據(jù)實際工藝設(shè)計為

在一個優(yōu)選的實施例中，還包括設(shè)置在石英玻璃板11下面的遮光膜13，遮光膜13為多塊間隔設(shè)置。遮光膜13的作用使光源能通過遮光膜13均勻顯示，使光照射的強度在控制范圍之內(nèi)。使用遮光膜13是用來調(diào)節(jié)和優(yōu)化電子顯示器中光達到致密和均勻，遮光膜13的功能不止是讓顯示光線達到致密和均勻而已。因為使用不同的材質(zhì)制作所以不同材質(zhì)的遮光膜13功能也是大同小異。遮光膜13具有導(dǎo)熱、緩沖、背光、防水、耐摩擦等功能和特點。

在一個優(yōu)選的實施例中，遮光膜13與金屬框14通過黏著劑連接，使用粘著劑粘結(jié)效果好，不易脫離。

在一個優(yōu)選的實施例中，在兩側(cè)的遮光膜13邊緣處設(shè)有絕緣夾具40夾持部16。便于夾持，操作方便。