[發明專利]一種光罩及清潔裝置

在審

• 申請號: 201710165797.4
• 申請日: 2017-03-20
• 公開（公告）號: CN106842811A
• 公開（公告）日: 2017-06-13
• 發明（設計）人: 張瑞軍;莫超德;范志翔;盧馬才;蔡小龍
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F1/38
• 分類號: G03F1/38;G03F1/82
• 代理公司: 北京聿宏知識產權代理有限公司11372
• 代理人: 吳大建

1.一種光罩，其特征在于，包括：

石英玻璃板(12)、透明導電膜(11)、半透明膜(15)和金屬框(14)；其中，

在所述石英玻璃板(12)的下面設有所述金屬框(14)，所述半透明膜(15)設置在所述金屬框(14)的下端，在所述石英玻璃板(12)的上面和所述半透明膜(15)的下面均設有所述透明導電膜(11)。

2.根據權利要求1所述的光罩，其特征在于：在所述石英玻璃板(11)與所述金屬框(14)之間設有遮光膜(13)。

3.根據權利要求2所述的光罩，其特征在于：所述遮光膜(13)與所述金屬框(14)通過黏著劑連接。

4.根據權利要求3所述的光罩，其特征在于：所述遮光膜(13)為多塊間隔設置。

5.根據權利要求4所述的光罩，其特征在于：在兩側的所述遮光膜(13)邊緣處設有夾持部(16)。

6.用于對權利要求1-5任一項所述的光罩進行清潔的清潔裝置，其特征在于，包括：帶有正極電極的上清潔板(51)和下清潔板(52)用于清潔所述光罩(1)表面異物(20)，所述上清潔板(51)和所述下清潔板(52)尺寸相同。

7.根據權利要求6所述的清潔裝置，其特征在于：所述上清潔板(51)和所述下清潔板(52)對稱設置，所述上清潔板(51)和所述下清潔板(52)之間距離為10毫米，所述上清潔板(51)和所述下清潔板(52)為金屬材質。

8.根據權利要求6所述的清潔裝置，其特征在于：還包括絕緣夾具(40)用于夾持所述光罩(1)。

9.根據權利要求6所述的清潔裝置，其特征在于：還包括導電針(30)用于對所述光罩的透明導電膜(11)導電。

10.根據權利要求6所述的清潔裝置，其特征在于：還包括設置在所述上清潔板(51)一側或所述下清潔板(52)一側的去離子裝置(53)用于去除所述光罩(1)表面殘留靜電。