[發明專利]復合帶電粒子束裝置

在審

• 申請號: 201710160447.9
• 申請日: 2017-03-17
• 公開（公告）號: CN107204269A
• 公開（公告）日: 2017-09-26
• 發明（設計）人: 大西毅;荷田昌克
• 申請（專利權）人: 日本株式會社日立高新技術科學
• 主分類號: H01J37/22
• 分類號: H01J37/22;H01J37/317
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 閆小龍,陳嵐

1.一種復合帶電粒子束裝置，其特征在于，具備：

樣品臺，載置樣品；

聚焦離子束鏡筒，向所述樣品照射聚焦離子束；

電子束鏡筒，向所述樣品照射電子束；

樣品室，收容所述樣品臺、所述聚焦離子束鏡筒和電子束鏡筒；

防污板，以能在插入到所述電子束鏡筒的出射面與所述樣品臺之間的插入位置和從所述出射面與所述樣品臺之間退出后的敞開位置之間移位的方式形成；以及

操作單元，使所述防污板在所述插入位置和所述敞開位置之間移位。

2.根據權利要求1所述的復合帶電粒子束裝置，其特征在于，所述防污板在所述插入位置處覆蓋所述電子束鏡筒的出射面的附近。

3.根據權利要求1或2所述的復合帶電粒子束裝置，其特征在于，所述操作單元形成在所述樣品室的外部。

4.根據權利要求1至3的任一項所述的復合帶電粒子束裝置，其特征在于，所述防污板由非磁性材料形成。

5.根據權利要求1至4的任一項所述的復合帶電粒子束裝置，其特征在于，所述防污板由帶狀的板簧材料構成。

6.根據權利要求5所述的復合帶電粒子束裝置，其特征在于，所述防污板被對沿著長尺寸方向的兩個側面及其附近進行支承的支承構件沿著長尺寸方向滑動自由地支承，該支承構件配置在與所述電子束鏡筒的出射面重疊的位置以外。

7.根據權利要求5或6所述的復合帶電粒子束裝置，其特征在于，所述防污板被配置為相對于長尺寸方向為直角的剖面形成弧狀，在所述插入位置處，兩個側端與中心部相比向所述電子束鏡筒的出射面側突出。