[發(fā)明專利]晶圓盒輸送裝載系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710149660.X
• 申請(qǐng)日: 2017-03-14
• 公開（公告）號(hào): CN107068604B
• 公開（公告）日: 2023-09-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳功
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海大族富創(chuàng)得科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 上海樂泓專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31385
• 代理人: 蘇杰

1.一種晶圓盒輸送裝載系統(tǒng)，其特征在于，包括晶圓盒、輸送裝置和開盒裝置，所述晶圓盒包括箱體和盒蓋，所述箱體和所述盒蓋為扣合連接，所述盒蓋上設(shè)置有兩個(gè)鎖孔；

所述開盒裝置包括主板、開盒板、開鎖組件、第一驅(qū)動(dòng)件和吸附組件，所述主板上設(shè)置有一開口，所述開盒板與所述開口配合，且所述開盒板位于所述主板的后側(cè)，所述開盒板上活動(dòng)連接兩個(gè)與所述鎖孔相對(duì)應(yīng)的所述開鎖組件，該兩個(gè)所述開鎖組件穿過所述開盒板與固定設(shè)置在所述開盒板后側(cè)的所述第一驅(qū)動(dòng)件傳動(dòng)連接，所述開盒板上還固定連接有兩個(gè)與所述盒蓋相對(duì)應(yīng)的所述吸附組件；

所述輸送裝置包括承載機(jī)構(gòu)，平移機(jī)構(gòu)和輸送機(jī)構(gòu)，所述晶圓盒放置在所述承載機(jī)構(gòu)上，所述承載機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述平移機(jī)構(gòu)上，所述平移機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述輸送機(jī)構(gòu)上，所述輸送機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述承載機(jī)構(gòu)移動(dòng)到所述主板前側(cè)后，所述平移機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述承載機(jī)構(gòu)分別在第一軸方向、第二軸方向和第三軸方向平移，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)所述晶圓盒與所述開盒板的配合；

所述主板的前側(cè)還設(shè)置有一與所述承載機(jī)構(gòu)配合的限位槽，所述限位槽上可設(shè)置有一對(duì)惰性氣體充氣、排氣氣嘴，所述承載機(jī)構(gòu)安裝有一對(duì)與之配套的充氣、排氣孔。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒輸送裝載系統(tǒng)，其特征在于，還包括盒蓋傳輸機(jī)構(gòu)，所述盒蓋傳輸機(jī)構(gòu)包括第一傳輸機(jī)構(gòu)和第二傳輸機(jī)構(gòu)；

所述第一傳輸機(jī)構(gòu)包括第二驅(qū)動(dòng)件、第三驅(qū)動(dòng)件、第一導(dǎo)向件、第二導(dǎo)向件、第一承載件和第二承載件，所述第一導(dǎo)向件的軸線垂直于所述主板，所述開盒板和所述第一承載件之間通過所述第一導(dǎo)向件連接，使所述開盒板和所述第一承載件相互滑動(dòng)，所述第二驅(qū)動(dòng)件能夠帶動(dòng)所述開盒板沿著所述第一導(dǎo)向件的軸線方向移動(dòng)，所述第一承載件和所述第二承載件之間通過所述第二導(dǎo)向件連接，使所述第一承載件和所述第二承載件相互滑動(dòng)，所述第三驅(qū)動(dòng)件能夠帶動(dòng)所述第一承載件沿所述第二導(dǎo)向件的軸線方向移動(dòng)，其中，所述第二導(dǎo)向件的軸線和所述第一導(dǎo)向件軸線平行；

所述第二傳輸機(jī)構(gòu)包括第四驅(qū)動(dòng)件和第三導(dǎo)向件，所述第三導(dǎo)向件的軸線和所述第一導(dǎo)向件的相互垂直，且所述第三導(dǎo)向件沿著所述主板縱向方向放置，所述第二承載件和所述主板之間通過所述第三導(dǎo)向件連接，使所述第二承載件和所述主板相互滑動(dòng)，所述第四驅(qū)動(dòng)件能夠帶動(dòng)所述第一承載件和/或所述第二承載件沿所述第三導(dǎo)向件的軸線方向移動(dòng)。

3.如權(quán)利要求2所述的晶圓盒輸送裝載系統(tǒng)，其特征在于，所述開盒板后側(cè)設(shè)置有罩殼，所述罩殼通過支桿連接所述第一導(dǎo)向件，所述第一導(dǎo)向件為導(dǎo)軌，導(dǎo)軌的數(shù)量為兩個(gè)，第二驅(qū)動(dòng)件為氣缸，氣缸的輸出軸連接所述支桿。

4.如權(quán)利要求2所述的晶圓盒輸送裝載系統(tǒng)，其特征在于，所述第二導(dǎo)向件為導(dǎo)軌，導(dǎo)軌的數(shù)量為兩個(gè)，所述第三驅(qū)動(dòng)件為氣缸，氣缸的輸出軸連接所述第一承載件。

5.如權(quán)利要求2所述的晶圓盒輸送裝載系統(tǒng)，其特征在于，所述第三導(dǎo)向件為導(dǎo)軌，且導(dǎo)軌的數(shù)量為兩個(gè)；

所述第四驅(qū)動(dòng)件為電機(jī)，所述第四驅(qū)動(dòng)件固定在主板后側(cè)，所述第四驅(qū)動(dòng)件皮帶傳動(dòng)連接有一絲杠，所述絲杠的軸線和所述第三導(dǎo)向件軸線平行，所述絲杠也固定在所述主板后側(cè)，該所述絲杠上螺紋連接有一導(dǎo)向塊，所述導(dǎo)向塊連接所述第一承載件。

6.如權(quán)利要求2所述的晶圓盒輸送裝載系統(tǒng)，其特征在于，所述第一導(dǎo)向件、所述第二導(dǎo)向件和所述第三導(dǎo)向件可分別為滑條和滑槽配合的結(jié)構(gòu)，或者導(dǎo)向桿和導(dǎo)向孔配合的結(jié)構(gòu)。

7.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒輸送裝載系統(tǒng)，其特征在于，還包括兩個(gè)鎖定機(jī)構(gòu)，用于對(duì)所述開盒板的位置進(jìn)行鎖定，該兩個(gè)所述鎖定機(jī)構(gòu)位于所述開口的上側(cè)，且位于所述主板的后側(cè)；

所述鎖定機(jī)構(gòu)包括第五驅(qū)動(dòng)件和活動(dòng)件，所述第五驅(qū)動(dòng)件為氣缸，氣缸的輸出軸與所述活動(dòng)件鉸接，所述活動(dòng)件還與所述主板鉸接。

8.如權(quán)利要求2所述的晶圓盒輸送裝載系統(tǒng)，其特征在于，所述第一軸方向、所述第二軸方向和所述第三軸方向構(gòu)成空間笛卡爾直角坐標(biāo)系或空間笛卡爾斜角坐標(biāo)系。

9.如權(quán)利要求8所述的晶圓盒輸送裝載系統(tǒng)，其特征在于，所述第一軸方向、所述第二軸方向和所述第三軸方向構(gòu)成空間笛卡爾直角坐標(biāo)系；

其中，當(dāng)所述晶圓盒與所述開盒板的配合配合時(shí)，所述第一軸方向與所述第一導(dǎo)向件的軸線平行，所述第三軸方向與所述第三導(dǎo)向件的軸線平行，所述第二軸方向分別與所述第一軸方向和所述第三軸方向垂直。