[發(fā)明專(zhuān)利]一種銳角金屬圖形制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710141342.9
• 申請(qǐng)日: 2017-03-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106653580B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳一峰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 成都海威華芯科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/027
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/027;G03F7/20;H01L21/02
• 代理公司: 成都華風(fēng)專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 51223
• 代理人: 徐豐

1.一種銳角金屬圖形制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、在銳角缺損的金屬圖形上采用PECVD反應(yīng)生長(zhǎng)硅化物層；

S2、在所述硅化物層上涂覆光刻膠，采用光刻顯影定義出硅化物層的打開(kāi)位置；

S3、根據(jù)所述打開(kāi)位置，采用刻蝕方式打開(kāi)硅化物層，定義出銳角位置，銳角位置的兩個(gè)自由端與銳角缺損的金屬圖形部分重疊；

S4、在所述銳角位置再次沉積金屬；

S5、去除光刻膠，得到具有完整銳角的金屬圖形；

所述硅化物層為SiO₂或SiN。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銳角金屬圖形制作方法，其特征在于，所述步驟S3中，銳角位置與銳角缺損的金屬圖形單邊重疊長(zhǎng)度不小于0.5 μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的銳角金屬圖形制作方法，其特征在于，所述步驟S4中再次沉積的金屬單邊長(zhǎng)度不超過(guò)10 μm。