[發明專利]一種提高芯片同測數的方法有效
| 申請號: | 201710141184.7 | 申請日: | 2017-03-10 |
| 公開(公告)號: | CN106971756B | 公開(公告)日: | 2021-06-01 |
| 發明(設計)人: | 武建宏 | 申請(專利權)人: | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號: | G11C29/12 | 分類號: | G11C29/12;G11C29/18;G11C29/36 |
| 代理公司: | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吳世華;陳慧弘 |
| 地址: | 201210 上海市浦*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 提高 芯片 方法 | ||
1.一種提高芯片同測數的方法,其特征在于,包括以下步驟:
(1)在芯片之間的劃片槽空隙處,放置BIST電路,所述BIST電路左右兩端各有一個電路PAD,用于放置BIST電路與自動測試設備的交互接口,所述BIST電路和自動測試設備之間通過所述交互接口發送指令接收數據;
(2)將BIST電路通過數據總線與周邊芯片連接;每一個被測芯片在BIST電路中對應一個獨立的控制單元,控制單元包括行地址寄存器、列地址寄存器和數據寄存器,所述控制單元中列地址寄存器與被測芯片中的列地址連接,行地址寄存器與被測芯片中的行地址連接,數據寄存器與芯片數據連接;
(3)自動測試設備通過上述交互接口向BIST電路發送控制信號,選中連接的多個被測芯片,通過上述控制單元進行多芯片同時測試;其中,所述BIST電路控制單元中行地址寄存器連接Y MASK寄存器,列地址寄存器連接X MASK寄存器,測試過程中,通過Y MASK寄存器和X MASK寄存器將行地址寄存器和列地址寄存器進行相關位的屏蔽,然后將行屏蔽位和列屏蔽位進行邏輯運算決定數據寄存器的翻轉,以此實現不同圖形的測試向量;其中,當YMASK屏蔽出Y0,XMASK屏蔽出X0,當X0與Y0異或為1時數據翻轉,對被測芯片進行棋盤格圖形的測試;當Y MASK屏蔽出最小位數的Y數據,X MASK屏蔽出最小位數的X數據,當X=Y時數據翻轉,對被測芯片進行對角線圖形的測試;
(4)BIST電路將測試結果和數據寄存器狀態通過上述交互接口反饋給自動測試設備,自動測試設備根據測試結果和數據寄存器確定每一個測試芯片的PASS/FAIL情況以及芯片內部的失效模式與位置,以此實現多芯片同測;
(5)測試完畢后,在硅片切割挑片時,將BIST電路從劃片槽中去除。
2.根據權利要求1所述的提高芯片同測數的方法,其特征在于,測試時控制單元中列地址寄存器數據不斷累加,達到最高位時進位到行地址寄存器,以此實現對被測芯片的全遍歷。
3.根據權利要求1所述的提高芯片同測數的方法,其特征在于,所述邏輯運算為異或、與、非中的一種。
4.根據權利要求1所述的提高芯片同測數的方法,其特征在于,測試過程中,與BIST電路連接的所有被測芯片的測試參數相同。
5.根據權利要求1所述的提高芯片同測數的方法,其特征在于,測試完畢后,自動測試設備根據測試結果和數據寄存器,將與BIST電路連接的測試芯片的測試結果壓縮為一個文件,解壓之后得到每個芯片的測試數據。
6.根據權利要求1所述的提高芯片同測數的方法,其特征在于,測試完畢后,自動測試設備根據測試結果和數據寄存器,將測試結果為FAIL的芯片壓縮到一個芯片的BIN中。
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