[發明專利]靜電檢測系統與方法有效
| 申請號： | 201710130804.7 | 申請日： | 2017-03-07 |
| 公開（公告）號： | CN108226658B | 公開（公告）日： | 2020-06-23 |
| 發明（設計）人： | 唐敏注;湯士源;黃玉婷;楊明達 | 申請（專利權）人： | 財團法人工業技術研究院 |
| 主分類號： | G01R29/24 | 分類號： | G01R29/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人： | 王珊珊 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靜電 檢測 系統 方法 | ||
1.一種靜電檢測系統，適于檢測產生于基板的有源表面處的靜電，所述靜電檢測系統包括：
感測裝置，設置于至少鄰近所述基板的與所述有源表面相對的背面，用以測量產生于所述有源表面處的靜電并產生初始電信號；以及
信號處理裝置，與所述感測裝置電性連接，用以接收所述初始電信號并對所述初始電信號以電壓補償值進行修正以得到最終電信號，其中，
所述電壓補償值至少由所述基板的厚度和介電常數以及所述感測裝置與所述背面之間的距離所決定。
2.如權利要求1所述的靜電檢測系統，其中所述感測裝置與所述基板的所述背面接觸。
3.如權利要求1所述的靜電檢測系統，其中所述基板的所述背面設置于基板承載裝置上，且所述感測裝置位于所述背面與所述基板承載裝置之間。
4.如權利要求1所述的靜電檢測系統，其中所述基板的背面設置于基板承載裝置上，且所述基板承載裝置位于所述背面與所述感測裝置之間。
5.如權利要求1所述的靜電檢測系統，其中所述感測裝置包括多個感測組件。
6.如權利要求5所述的靜電檢測系統，其中所述感測組件以陣列方式排列。
7.如權利要求1所述的靜電檢測系統，其中所述初始電信號與所述最終電信號為電壓信號。
8.如權利要求1所述的靜電檢測系統，其中所述感測裝置與所述背面之間的距離不超過10厘米。
9.一種靜電檢測方法，包括：
將感測裝置設置于至少鄰近基板的與有源表面相對的背面；
借由所述感測裝置測量產生于所述有源表面處的靜電并產生初始電信號；以及
借由信號處理裝置接收所述初始電信號并對所述初始電信號以電壓補償值進行修正，以得到最終電信號，其中，
所述電壓補償值至少由所述基板的厚度和介電常數以及所述感測裝置與所述背面之間的距離所決定。
10.如權利要求9所述的靜電檢測方法，其中所述感測裝置與所述基板的所述背面接觸。
11.如權利要求9所述的靜電檢測方法，還包括將基板的所述背面設置于基板承載裝置上，其中所述感測裝置位于所述背面與所述基板承載裝置之間。
12.如權利要求9所述的靜電檢測方法，還包括將基板的所述背面設置于基板承載裝置上，其中所述基板承載裝置位于所述背面與所述感測裝置之間。
13.如權利要求9所述的靜電檢測方法，其中所述感測裝置包括多個感測組件。
14.如權利要求13所述的靜電檢測方法，其中所述感測組件以陣列方式排列。
15.如權利要求9所述的靜電檢測方法，其中所述初始電信號與所述最終電信號為電壓信號。
16.如權利要求9所述的靜電檢測方法，其中所述感測裝置與所述背面之間的距離不超過10厘米。
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