[發(fā)明專(zhuān)利]吸附用吸盤(pán)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710128425.4
• 申請(qǐng)日: 2017-03-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107165923B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-02-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 北澤達(dá)也
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社日本匹士克
• 主分類(lèi)號(hào): B25J15/06
• 分類(lèi)號(hào): B25J15/06;F16B47/00
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 馬淑香

本發(fā)明的目的是提供一種能保護(hù)工件，且穩(wěn)定地進(jìn)行脫離的吸附用吸盤(pán)。吸附用吸盤(pán)(10)包括：主體部(11)，該主體部具有內(nèi)部空間(16)；吸盤(pán)部(12)，該吸盤(pán)部與內(nèi)部空間(16)連通；軸部(13)，該軸部具有前端部(13A)，且以前端部(13A)朝向吸盤(pán)部(12)的方式設(shè)置在內(nèi)部空間(16)中，前端部(13A)朝著吸盤(pán)部(12)的內(nèi)外進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)；以及軸彈性部(14)，該軸彈性部在自由狀態(tài)下使前端部(13A)縮回吸盤(pán)部(12)內(nèi)地對(duì)軸部(13)進(jìn)行保持。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及適用于吸附用吸盤(pán)的有效的技術(shù)。

背景技術(shù)

在韓國(guó)公開(kāi)專(zhuān)利第10-2006-0082213號(hào)公報(bào)(以下稱(chēng)為“專(zhuān)利文獻(xiàn)1”)中，記載了包括頂出銷(xiāo)和彈出頂出銷(xiāo)的彈簧的機(jī)械式的真空吸盤(pán)。在該真空吸盤(pán)中，在自由狀態(tài)下自主體部利用彈簧彈出的軸從吸盤(pán)部伸出。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：韓國(guó)公開(kāi)專(zhuān)利第10-2006-0082213號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題

當(dāng)吸附用吸盤(pán)(也稱(chēng)為真空吸盤(pán))的內(nèi)部空間是真空時(shí)，通過(guò)向該內(nèi)部空間中供給空氣(以下稱(chēng)為“真空破壞空氣”)將真空破壞。為了可靠地從通過(guò)真空吸引而吸附工件的吸附用吸盤(pán)將工件脫離，例如考慮增強(qiáng)壓力、流量這樣的基于排出力、排出時(shí)間等的真空破壞空氣。此外，也可考慮通過(guò)對(duì)與工件接觸的吸盤(pán)部實(shí)施防粘附加工(例如粗糙化、涂層)，降低吸盤(pán)部的粘附力，從而減弱真空破壞空氣。

但是，在增強(qiáng)真空破壞空氣的情況下，有可能將脫離后的工件吹飛。另一方面，在減弱真空破壞空氣的情況下，存在例如在一部分粘附的狀態(tài)下將工件帶回等工件的脫離變得不穩(wěn)定的擔(dān)憂(yōu)。特別是當(dāng)工件是小型化、輕量化了的半導(dǎo)體芯片時(shí)，脫離容易變得不穩(wěn)定。為此，可考慮對(duì)真空破壞空氣的壓力、流量和排出時(shí)間進(jìn)行微調(diào)，但由于微調(diào)而導(dǎo)致工序數(shù)增加，且需要用于微調(diào)的控制設(shè)備。

此外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的那樣的真空吸盤(pán)的情況下，在使工件與吸盤(pán)部接觸時(shí)會(huì)導(dǎo)致問(wèn)題產(chǎn)生。具體而言，在工件接觸吸盤(pán)部之前，由工件本身將伸出的軸上推，必須將軸向主體部縮回，此時(shí)工件可能會(huì)受到損傷。

本發(fā)明的目的在于提供一種能夠保護(hù)所吸附的工件，且穩(wěn)定地進(jìn)行脫離的吸附用吸盤(pán)。本發(fā)明的上述目的及其他目的和新特征可由本說(shuō)明書(shū)的記載及附圖加以明確。

解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案

若對(duì)本申請(qǐng)公開(kāi)的發(fā)明中的代表性的發(fā)明的概要進(jìn)行簡(jiǎn)單說(shuō)明，則如下所述。

本發(fā)明的一種解決技術(shù)方案的吸附用吸盤(pán)的特征是，包括：主體部，上述主體部具有內(nèi)部空間；吸盤(pán)部，上述吸盤(pán)部與上述內(nèi)部空間連通；軸部，上述軸部具有前端部，且以上述前端部朝向上述吸盤(pán)部的方式設(shè)置在上述內(nèi)部空間中，上述前端部朝著上述吸盤(pán)部的內(nèi)外進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)；以及軸彈性部，上述軸彈性部使上述前端部縮回上述吸盤(pán)部?jī)?nèi)地對(duì)上述軸部進(jìn)行保持。

這里，上述軸部的沖程量?jī)?yōu)選比上述軸部的上述前端部向上述吸盤(pán)部外伸出的最大伸出量大。藉此，在將真空破壞空氣從吸盤(pán)部排出后的狀態(tài)之后，即使工件粘附在吸盤(pán)部，也能使用軸部穩(wěn)定地進(jìn)行工件的脫離。

此外，優(yōu)選還包括：空氣出入部，上述空氣出入部與上述內(nèi)部空間連通；以及活塞部，上述活塞部設(shè)置在上述內(nèi)部空間內(nèi)，且在上述軸部和上述空氣出入部之間。藉此，能將軸部抵抗軸彈性部而朝吸盤(pán)部側(cè)按壓。

此外，優(yōu)選上述主體部還具有導(dǎo)向貫通部，上述導(dǎo)向貫通部與上述吸盤(pán)部連通，且供上述軸部的前端部插入，上述軸部在與上述前端部相反的一側(cè)還具有直徑比上述導(dǎo)向貫通部的直徑大的凸緣部。藉此，在工件脫離后，利用凸緣部堵塞導(dǎo)向貫通部(空氣流路)，能使空氣停止從吸盤(pán)部排出。