[發明專利]用于有機發光二極管的沉積裝置

有效

• 申請號: 201710122375.9
• 申請日: 2017-03-02
• 公開（公告）號: CN107151782B
• 公開（公告）日: 2019-12-03
• 發明（設計）人: 柳在光;金鐘憲
• 申請（專利權）人: 樂金顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/50;H01L51/56
• 代理公司: 11227 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 蔡勝有;譚天<國際申請>=<國際公布>=

本發明公開了一種用于有機發光二極管的沉積裝置，其能夠防止大塊玻璃由于重力而下垂。沉積裝置使得玻璃能夠在其向上凸起地彎曲的狀態下從平面靜電吸盤的中心部朝向其邊緣部粘附到平面靜電吸盤的下表面，從而防止由玻璃的下垂量引起的掩模變形。此外，沉積裝置使得玻璃和掩模能夠快速對準，因為在玻璃盡可能靠近掩模而不接觸之后，通過測量設置在其上的各個對準標記使玻璃與掩模彼此粘附。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2016年3月3日提交的韓國專利申請第10-2016-0025401號的權益，其全部內容通過引用并入本文如同在本文中完全闡述一樣。

技術領域

本發明涉及一種用于有機發光二極管的沉積裝置，更具體地，涉及一種如下的用于有機發光二極管的沉積裝置：其中有機發光二極管的基板與靶相關地設置以使得沉積材料能夠以向上沉積的方式沉積在基板的下表面上。

背景技術

隨著信息時代的到來，在視覺上顯示電傳輸的信息信號的顯示器領域正在迅速發展。因此，對更薄更輕并且消耗更少功率的各種平板顯示裝置的開發的研究持續進行。

這種平板顯示裝置的代表性示例可以包括液晶顯示(LCD)裝置、等離子體顯示面板(PDP)裝置、場發射顯示(FED)裝置、電致發光顯示(ELD)裝置、電潤濕顯示(EWD)裝置和有機發光顯示(OLED)裝置。

這些平板顯示裝置通常需要平面顯示面板來實現圖像。這樣的平面顯示面板被配置成使得一對基板彼此面對結合的形式，其具有介于其間的特定的發光材料或偏振器材料。

其中，有機發光顯示(OLED)裝置是利用作為自發光元件的有機發光二極管來顯示圖像的裝置。

與其他平板顯示裝置相比，這種有機發光顯示裝置理想地產生有限量的熱量。此外，由于其自發光的優點，在工業中對有機發光顯示裝置的需求正在增加。在制造有機發光顯示裝置的方法中，加熱其中存儲有機材料的坩堝，使得蒸發的有機材料以薄膜的形式沉積在玻璃片上。

此時，形成在其上的具有預定圖案的掩模位于玻璃與坩堝之間，有機材料可以通過該掩模選擇性地通過。有機材料與掩模的圖案一致地沉積在玻璃上。在韓國專利注冊第351822號中公開了利用掩模制造有機發光顯示器的方法。

然而，隨著玻璃片變得更大時，當玻璃由于重力而下垂并因此與掩模接觸時，可能發生掩模的變形。因此，需要有效措施以使玻璃與掩模接觸而不引起掩模的變形。

此外，因為玻璃下垂的量和掩模下垂的量不同，所以需要花費大量的時間和費用來使它們精確地對準，并且不同的下垂量會劣化接觸的均勻性，這可能因為瑕疵點(spot)增加缺陷率。

發明內容

因此，本發明涉及一種基本上消除了由于現有技術的限制和缺點而引起的一個或更多個問題的用于有機發光二極管的沉積裝置。

本發明的一個目的是提供如下的用于有機發光二極管的沉積裝置：其中基板(例如，玻璃板(片))與平面靜電吸盤緊密接觸，以便在與掩模接觸之前附著到該平面靜電吸盤上然后在沒有發生下垂的狀態下再次附著到掩模并且與掩模對準。

本發明的另外的優點、目的和特征的一部分闡述于下面的描述中，而一部分對本領域普通技術人員而言，當對下述進行考察時是顯見的，或者可以從本發明的實踐中獲知本發明的另外的優點、目的和特征。通過在書面描述及其權利要求以及附圖中所具體指出的結構可實現和得到本發明的目的和其他優點。