[發明專利]角速度取得裝置有效
| 申請號： | 201710120474.3 | 申請日： | 2017-03-02 |
| 公開（公告）號： | CN107561304B | 公開（公告）日： | 2020-02-28 |
| 發明（設計）人： | 富澤泰;山本悠;池橋民雄 | 申請（專利權）人： | 株式會社東芝 |
| 主分類號： | G01C19/5712 | 分類號： | G01C19/5712;G01C19/5755;G01C19/56;G01C19/5719;G01C19/5762 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿軍 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 角速度 取得 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種角速度取得裝置，其特征在于，具備：
可動體，該可動體在第1方向及基于科里奧利力的第2方向上振動，具有在上述第2方向上延伸的可動電極部，上述第2方向與上述第1方向正交；
保持電極，具有在上述第2方向上延伸、并隔開間隙地與上述可動電極部對置的固定電極部；以及
擋塊，配置在上述固定電極部與上述可動電極部之間，具有位于比上述固定電極部的對置于上述可動電極部的面更靠上述可動電極部側的端部。
2.如權利要求1所述的角速度取得裝置，其特征在于，
在上述固定電極部的上述第2方向的兩端配置有一對上述擋塊。
3.如權利要求1或2所述的角速度取得裝置，其特征在于，
多個上述可動電極部和多個上述固定電極部在上述第1方向上交替地排列，在上述固定電極部的上述第1方向的兩側配置有上述擋塊。
4.如權利要求1或2所述的角速度取得裝置，其特征在于，
上述可動電極部的上述第2方向的兩端固定在上述可動體上。
5.如權利要求1或2所述的角速度取得裝置，其特征在于，
上述固定電極部及上述擋塊設在基板上的相同的層中；
上述固定電極部及上述擋塊與在設有上述固定電極部及上述擋塊的上述層的下方的層中設置的布線連接；
上述布線具有與上述固定電極部連接的第1布線、和與上述擋塊連接并相對于上述第1布線分離的第2布線。
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