[發(fā)明專利]角速度取得裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710120474.3
• 申請日: 2017-03-02
• 公開（公告）號: CN107561304B
• 公開（公告）日: 2020-02-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 富澤泰;山本悠;池橋民雄
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社東芝
• 主分類號: G01C19/5712
• 分類號: G01C19/5712;G01C19/5755;G01C19/56;G01C19/5719;G01C19/5762
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

實施方式提供一種加工偏差不易給動作帶來影響的角速度取得裝置。實施方式的角速度取得裝置具備：可動體，該可動體在第1方向及基于科里奧利力的第2方向上振動，具有在上述第2方向上延伸的可動電極部；保持電極，具有在上述第2方向上延伸、并隔開間隙地與上述可動電極部對置的固定電極部；以及擋塊，配置在上述固定電極部與上述可動電極部之間，具有位于比上述固定電極部的與上述可動電極部對置的面更靠上述可動電極部側(cè)的端部。

本申請基于日本專利申請2016－130106號(申請日：2016年6月30日)主張優(yōu)先權(quán)。本申請通過參照該基礎(chǔ)申請而包含該基礎(chǔ)申請的全部內(nèi)容。

技術(shù)領(lǐng)域

實施方式涉及角速度取得裝置。

背景技術(shù)

作為利用于旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)中振動的物體上的科里奧利力(Coriolis force)來檢測角速度的陀螺儀傳感器，已知有使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術(shù)而形成的結(jié)構(gòu)。有時，基于該MEMS技術(shù)的加工偏差使得陀螺儀傳感器的正常的動作受損。

發(fā)明內(nèi)容

實施方式提供一種加工偏差不易影響到動作的角速度取得裝置。

實施方式的角速度取得裝置具備：可動體，該可動體在第1方向及基于科里奧利力的第2方向上振動，具有在上述第2方向上延伸的可動電極部；保持電極，具有在上述第2方向上延伸、并隔開間隙地與上述可動電極部對置的固定電極部；以及擋塊，配置在上述固定電極部與上述可動電極部之間，具有位于比上述固定電極部的與上述可動電極部對置的面更靠上述可動電極部側(cè)的端部。

附圖說明

圖1是實施方式的角速度取得裝置的MEMS部的示意俯視圖。

圖2是圖1的A部的放大示意俯視圖。

圖3是表示圖2所示的可動體的保持狀態(tài)的示意俯視圖。

圖4是表示實施方式的角速度取得裝置的結(jié)構(gòu)的塊圖。

圖5是實施方式的角速度取得裝置的動作時序圖。

圖6(a)～圖6(c)是表示實施方式的角速度取得裝置的制造方法的示意剖視圖。

圖7是表示實施方式的角速度取得裝置的制造方法的示意俯視圖。

圖8是表示實施方式的角速度取得裝置的可動電極部及保持電極的另一例的示意俯視圖。

圖9是圖8中的一部分的放大示意俯視圖。

圖10(a)是圖9的B－B’剖視圖，圖10(b)是圖9的C－C’剖視圖。

具體實施方式

以下，參照附圖對實施方式進行說明。另外，在各圖面中，對于相同的要素賦予相同的標號。

圖1是實施方式的角速度取得裝置的MEMS部10的示意俯視圖。

圖1所示的MEMS部10的要素是對設(shè)在基板上的膜進行布圖而得到的。基板例如是硅基板，構(gòu)成MEMS部10的要素的膜例如是硅膜。

MEMS部10具有可動體11、驅(qū)動電極20、傳感電極50、保持電極40和擋塊30。

可動體11能夠在Y方向及X方向上振動。X方向相對于Y方向正交?？蓜芋w11具有主塊(mass)部12、驅(qū)動/保持用的電極17和傳感用的電極13。主塊部12、電極13及電極17一體地設(shè)置。

一對驅(qū)動/保持用的電極17在Y方向上分離而配置，主塊部12配置在一對電極17之間。在電極17的X方向的側(cè)方配置有錨部18和彈簧部19，彈簧部19將錨部18與電極17連結(jié)。