[發(fā)明專利]印刷基板用曝光裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710117232.9
• 申請(qǐng)日: 2017-03-01
• 公開（公告）號(hào): CN107148152B
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 原貴之
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H05K3/06
• 分類號(hào): H05K3/06;G03F7/20
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

1.一種印刷基板用曝光裝置，具備：

載置基板的基臺(tái)；和

對(duì)載置在基臺(tái)上的基板照射形成規(guī)定的圖案的曝光光的曝光系統(tǒng)，

其特征在于，

設(shè)有：將基板真空吸附到基臺(tái)上的真空吸附機(jī)構(gòu)；和將載置在基臺(tái)上的基板的周邊部向基臺(tái)按壓的按壓機(jī)構(gòu)，

按壓機(jī)構(gòu)具備：不遮擋對(duì)基板形成規(guī)定的圖案的曝光光的形狀的框體；和通過將框體以在其與基臺(tái)之間夾入有基板的周邊部的狀態(tài)朝向基臺(tái)按壓從而將基板的周邊部向基臺(tái)按壓的驅(qū)動(dòng)部，

框體具有在離開基板的位置形成密閉空間的構(gòu)造，并且在對(duì)基板進(jìn)行形成規(guī)定的圖案的曝光光的照射時(shí)，驅(qū)動(dòng)部將該密閉空間抽真空，從而將基板的周邊部向基臺(tái)按壓，

上述印刷基板用曝光裝置設(shè)有控制曝光系統(tǒng)以及按壓機(jī)構(gòu)的控制部，

控制部在向基板進(jìn)行形成規(guī)定的圖案的曝光光的照射的期間，也進(jìn)行使按壓機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)部動(dòng)作的控制。

2.如權(quán)利要求1記載的印刷基板用曝光裝置，其特征在于，

在朝向上述基臺(tái)按壓的上述框體的面對(duì)上述基臺(tái)側(cè)的面上，設(shè)有具有彈性的周狀封固部件，周狀封固部件為在離開上述基板的位置處抵接于上述基臺(tái)而形成上述密閉空間的形狀。

3.如權(quán)利要求1記載的印刷基板用曝光裝置，其特征在于，

上述基臺(tái)的面對(duì)被按壓的上述框體的面上，設(shè)有具有彈性的周狀封固部件，周狀封固部件為在離開上述基板的位置處抵接于上述框體而形成上述密閉空間的形狀。

4.如權(quán)利要求2記載的印刷基板用曝光裝置，其特征在于，

上述周狀封固部件是管狀。

5.如權(quán)利要求3記載的印刷基板用曝光裝置，其特征在于，

上述周狀封固部件是管狀。

6.如權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)記載的印刷基板用曝光裝置，其特征在于，

設(shè)定有待機(jī)位置，該待機(jī)位置為上述基板向上述基臺(tái)的送入以及上述基板從上述基臺(tái)的送出時(shí)上述框體所處的位置，

設(shè)有使上述框體在動(dòng)作位置與待機(jī)位置之間反復(fù)移動(dòng)的框體移動(dòng)機(jī)構(gòu)，上述動(dòng)作位置是將上述框體以夾入了上述基板的周邊部的狀態(tài)向基臺(tái)按壓的位置。

7.如權(quán)利要求6記載的印刷基板用曝光裝置，其特征在于，

上述基板的輸送機(jī)構(gòu)被兼用于上述框體移動(dòng)機(jī)構(gòu)。

8.如權(quán)利要求6記載的印刷基板用曝光裝置，其特征在于，

上述框體移動(dòng)機(jī)構(gòu)是一邊將上述框體真空吸附并保持一邊使上述框體移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。

9.如權(quán)利要求7記載的印刷基板用曝光裝置，其特征在于，

上述基板的輸送機(jī)構(gòu)具備將上述基板吸附并保持的基板用吸附墊，

上述框體具有供該基板用吸附墊插通的切口。