[發明專利]半導體加工設備

在審

• 申請號: 201710117026.8
• 申請日: 2017-03-01
• 公開（公告）號: CN108538743A
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發明（設計）人: 肖德志
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種半導體加工設備，包括腔室和光學發射光譜監測裝置，其特征在于，在所述腔室的腔室壁上設置有透明窗，所述光學發射光譜監測裝置包括透鏡、不透光的筒體、光電轉換器和接收器；

所述透鏡和所述光電轉換器設置在所述筒體內，

所述透鏡，與所述透明窗相對設置，用于將所述腔室內自所述透明窗出射的光信號聚焦至光電轉換器上；

所述光電轉換器，用于將所述光信號轉換為電信號并發送至接收器；

所述接收器，用于接收所述光電轉換器發送的電信號，以根據所述電信號監測腔室內的工藝狀態。

2.根據權利要求1所述的半導體加工設備，其特征在于，在所述筒體上沿所述光信號傳輸路徑設置有滑動軌道；

在所述滑動軌道設置有把手，所述把手與所述光電轉換器相連，所述把手可沿所述滑動軌道滑動并帶動所述光電轉換器移動。

3.根據權利要求1所述的半導體加工設備，其特征在于，所述光學發射光譜監測裝置還包括信號放大器；

所述光電轉換器，用于將光信號轉換為電信號并發送至所述信號放大器；

所述信號放大器，用于接收并放大所述光電轉換器發送的電信號，且將放大后的電信號發送至所述接收器；

所述接收器，用于接收所述信號放大器發送的電信號。

4.根據權利要求1所述的半導體加工設備，其特征在于，在所述筒體內還設置有固定光闌；

所述固定光闌設置在所述光電轉換器和所述透鏡之間或者所述透鏡的前端。

5.根據權利要求4所述的半導體加工設備，其特征在于，所述固定光闌的通光孔的形狀包括圓形、多邊形、三角形或狹縫。

6.根據權利要求1所述的半導體加工設備，其特征在于，在所述筒體內設置有可調光闌；

所述可調光闌設置在所述光電轉換器和所述透鏡之間或者所述透鏡的前端。

7.根據權利要求6所述的半導體加工設備，其特征在于，所述可調光闌包括：孔徑可調的孔狀器件和手柄，

所述手柄與所述孔狀器件相連接，以使通過控制所述手柄調節所述孔狀器件的孔徑大小。

8.根據權利要求6所述的半導體加工設備，其特征在于，所述可調光闌包括：孔徑可調的孔狀器件和外圈器件，

所述外圈器件與所述孔狀器件螺紋連接，以使通過轉動所述外圈器件調節所述孔狀器件的孔徑大小。

9.根據權利要求6所述的半導體加工設備，其特征在于，所述光學發射光譜監測裝置還包括：

執行器，與所述可調光闌相連接；

控制器，用于獲取并判斷當前光信號轉換成的電信號是否大于預設最大值，若是，則控制所述執行器減小所述可調光闌的孔徑；以及獲取并判斷當前光信號轉換成的電信號是否小于預設最小值，若是，則控制所述執行器增大所述可調光闌的孔徑。

10.根據權利要求1所述的半導體加工設備，其特征在于，在所述筒體內還設置有單色濾光片；

所述單色濾光片設置在所述光電轉換器和所述透鏡之間或者所述透鏡的前端。