[發明專利]沉積裝置及利用其的發光顯示裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201710111818.4
• 申請日: 2017-02-28
• 公開（公告）號: CN107151781B
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 鄭興鐵;金東昱;鄭成鎬
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;劉錚

提供了沉積裝置和利用該沉積裝置的發光顯示裝置的制造方法。作為示例，沉積裝置包括：坩堝，配置成沿著第一方向延伸，并且其上部具有開口部以將沉積物質容納在其內部空間中；加熱部件，布置于坩堝的側部并對坩堝進行加熱；蓋，覆蓋坩堝的開口部；以及多個噴嘴，從蓋朝著上方突出并且在蓋上沿著第一方向布置，其中，多個噴嘴分別具有一對槽，一對槽從上端沿著側壁以一定深度形成，并且一對槽布置成彼此相對。

技術領域

本發明涉及沉積裝置以及利用該沉積裝置的發光顯示裝置的制造方法。

背景技術

在發光顯示裝置之中，有機發光顯示裝置作為自發光型顯示器件，其不僅具有視角寬、對比度優秀的優點，而且還具有響應速度快的優點，因此作為下一代顯示裝置而備受矚目。

有機發光顯示裝置包括在陽電極與陰電極之間由有機發光物質構成的發光層。隨著陽極電壓和陰極電壓分別施加到這些電極，從陽電極注入的空穴(hole)經由空穴注入層和空穴傳輸層移動至發光層，而電子從陰電極經由電子注入層和電子傳輸層移動至發光層，從而使得電子與空穴在發光層中復合。通過這種復合生成激子(exiton)，并且隨著該激子從激發態躍遷至基態而從發光層放射出光，從而顯示圖像。

有機發光顯示裝置包括像素限定膜，其中該像素限定膜具有開口部以暴露以像素為單位形成的陽電極，并且空穴注入層、空穴傳輸層、發光層、電子傳輸層、電子注入層和陰電極形成在通過該像素限定膜的開口部暴露的陽電極上。其中，空穴注入層、空穴傳輸層、發光層、電子傳輸層和電子注入層可通過各種方法形成，其中一種方式為沉積方法。

發明內容

另外，用于執行沉積方法的沉積裝置具有沉積源，該沉積源包括儲存沉積物質的坩堝、加熱坩堝的加熱部件、包括多個噴嘴的噴嘴部以及收納坩堝和加熱部件的殼，其中上述多個噴嘴形成供在坩堝中被加熱的沉積物質朝著襯底方向噴射的路徑。此外，沉積裝置還可具有角度限制板，該角度限制板設置在多個噴嘴的周圍并且限制經由多個噴嘴朝著襯底方向噴射的沉積物質的沉積區域。

然而，由于角度限制板在沉積物質經由多個噴嘴朝著襯底方向噴射時作用為障礙物，因此經由多個噴嘴朝著襯底方向噴射的沉積物質可能無法被沉積在襯底上而是堆積在角度限制板上。由此，可能需要更大量的沉積物質以在襯底上形成薄膜，從而降低沉積物質的利用效率。

對此，本發明要解決的技術問題在于提供能夠提高沉積工藝中的沉積物質的利用效率的沉積裝置。

此外，本發明要解決的另一技術問題在于提供利用能夠提高沉積工藝中的沉積物質的利用效率的沉積裝置制造發光顯示裝置的方法。

本發明的問題不限于上文中提及的技術問題，并且本領域技術人員可通過下面的記載明確理解未提及的其它的技術問題。

用于解決上述技術問題的、根據本發明一實施方式的沉積裝置包括：坩堝，配置成沿著第一方向延伸并且其上部具有開口部以將沉積物質容納在其內部空間中；加熱部件，布置在所述坩堝的側部并且對所述坩堝進行加熱；蓋，覆蓋所述坩堝的所述開口部；以及多個噴嘴，從所述蓋朝著上方突出并且在所述蓋上沿著所述第一方向布置，其中，所述多個噴嘴分別具有一對槽，所述一對槽從所述噴嘴的上端沿著側壁以一定深度形成，并且所述一對槽布置成彼此相對。

布置于所述多個噴嘴中的所有的槽可位于沿著所述第一方向延伸的同一個延長線上。

所述槽可具有其寬度在從所述噴嘴的上端朝著所述蓋的方向上逐漸變窄的形態。

所述槽的截面形狀可以是倒梯形。

所述槽可具有其寬度在從所述噴嘴的上端朝著所述蓋的方向上相同的形態。

所述槽的截面形狀可以是四邊形。

所述槽可具有其寬度在從所述噴嘴的上端朝著所述蓋的方向上逐漸變寬的形態。

所述槽的截面形狀可以是梯形。