[發明專利]沉積裝置及利用其的發光顯示裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201710111818.4
• 申請日: 2017-02-28
• 公開（公告）號: CN107151781B
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 鄭興鐵;金東昱;鄭成鎬
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;劉錚

1.沉積裝置，包括：

坩堝，配置成沿著第一方向延伸，并且所述坩堝的上部具有開口部以將沉積物質容納在所述坩堝的內部空間中；

加熱部件，布置于所述坩堝的側部，并且對所述坩堝進行加熱；

蓋，覆蓋所述坩堝的所述開口部；以及

多個噴嘴，從所述蓋朝著上方突出，并且在所述蓋上沿著所述第一方向布置，

其中，所述多個噴嘴分別具有一對槽，所述一對槽從所述噴嘴的上端沿著側壁以一定深度形成，并且所述一對槽布置成彼此相對

其中，布置于所述多個噴嘴中的所有的槽位于沿著所述第一方向延伸的同一個延長線上。

2.如權利要求1所述的沉積裝置，其中，

所述槽具有其寬度在從所述噴嘴的上端朝著所述蓋的方向上逐漸變窄的形態。

3.如權利要求1所述的沉積裝置，其中，

所述槽具有其寬度在從所述噴嘴的上端朝著所述蓋的方向上相同的形態。

4.如權利要求1所述的沉積裝置，其中，

所述槽具有其寬度在從所述噴嘴的上端朝著所述蓋的方向上逐漸變寬的形態。

5.如權利要求1所述的沉積裝置，其中，

所述槽在從所述噴嘴的上端朝著所述蓋的方向上具有彼此不同的圖形的組合。

6.如權利要求1所述的沉積裝置，還包括：

角度限制部件，其中所述角度限制部件包括：

第一角度限制部件和第二角度限制部件，所述第一角度限制部件和所述第二角度限制部件配置成在所述蓋上沿著所述第一方向延伸，并且在與所述第一方向垂直相交的第二方向上布置在所述多個噴嘴的兩側且彼此相對。

7.如權利要求6所述的沉積裝置，其中，

所述角度限制部件還包括在第一方向上布置在所述多個噴嘴的兩側并且彼此相對的角度限制板。

8.發光顯示裝置的制造方法，包括以下步驟：

準備沉積裝置，其中，所述沉積裝置包括：

坩堝，配置成沿著第一方向延伸，并且具有開口部以將沉積物質容納在所述坩堝的內部；

加熱部件，布置成圍繞所述坩堝的側部并且對所述坩堝進行加熱；

蓋，覆蓋所述坩堝的所述開口部；以及

多個噴嘴，從所述蓋朝著上方突出，并且在所述蓋上沿著所述第一方向布置；

將襯底布置成與所述多個噴嘴相對；以及

在與所述第一方向垂直相交的第二方向上移動所述坩堝或所述襯底期間，經由所述多個噴嘴將所述沉積物質噴射至所述襯底上以在所述襯底上形成薄膜，

其中，所述多個噴嘴分別具有一對槽，所述一對槽從所述噴嘴的上端沿著側壁以一定深度形成，并且所述一對槽布置成彼此相對，

其中，布置于所述多個噴嘴中的所有的槽位于沿著所述第一方向延伸的同一個延長線上。

9.如權利要求8所述的發光顯示裝置的制造方法，其中，所述準備所述沉積裝置的步驟包括：

將角度限制部件設置在所述蓋上，其中，所述角度限制部件包括：

第一角度限制部件和第二角度限制部件，所述第一角度限制部件和所述第二角度限制部件配置成在所述蓋上沿著所述第一方向延伸，并且在與所述第一方向垂直相交的第二方向上布置在所述多個噴嘴的兩側且彼此相對。

10.如權利要求8所述的發光顯示裝置的制造方法，其中，所述形成掩模的步驟還包括：

在所述多個噴嘴與所述襯底之間布置沉積掩模，其中所述沉積掩模能夠與所述襯底緊貼。