[發明專利]一種靜電吸附拾取夾具系統

有效

• 申請號: 201710111198.4
• 申請日: 2017-02-28
• 公開（公告）號: CN107068592B
• 公開（公告）日: 2023-07-25
• 發明（設計）人: 張一博;劉強;姚建華;盧詩毅;喻里程;劉浩;劉震;張霞峰;張根明
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 廣東廣信君達律師事務所 44329
• 代理人: 楊曉松

1.一種靜電吸附拾取夾具系統，其特征在于，包括：

可對微薄片進行篩選的篩選平臺；

可對所述篩選平臺上的微薄片進行靜電吸附并轉移的靜電吸附夾具；

可對被靜電吸附的微薄片去除靜電的去靜電平臺；

所述篩選平臺包括可承載微薄片的負極板載物臺、位于所述負極板載物臺下方并帶有正電荷的篩選正極板以及位于所述篩選正極板下方的電池層；所述靜電吸附夾具設有帶有正電荷的夾具正極板，所述去靜電平臺包括靜電載物臺以及位于下方的電容極板，所述電容極板可在時間周期為4T內交替通入正電荷和負電荷；

所述時間周期T為10ms；當靜電吸附夾具移動至去靜電載物臺之上時，夾具正極板的正電荷被施以斷開，使得帶有負電荷的微薄片在重力作用下下降；當電容極板被通入正電荷時，對微薄片產生吸力，使得微薄片減速下降，而電容極板轉換通入負電荷后，電容極板對微薄片的下降產生斥力，使得微薄片緩降于靜電載物臺表面上，從而實現微薄片的轉移。

2.如權利要求1所述的靜電吸附拾取夾具系統，其特征在于，所述篩選正極板為若干個相互分離且分別與電池層電連接的正極板。

3.如權利要求2所述的靜電吸附拾取夾具系統，其特征在于，若干個所述正極板可呈陣列狀進行排布。

4.如權利要求3所述的靜電吸附拾取夾具系統，其特征在于，所述正極板與所述電池層之間設置有用于防止正極板釋放正電荷的絕緣層。

5.如權利要求1所述的靜電吸附拾取夾具系統，其特征在于，所述夾具正極板朝向所述負極板載物臺的端面邊緣設有圍沿，所述圍沿與所述夾具正極板形成一可容納微薄片并呈開放式的腔體。

6.如權利要求5所述的靜電吸附拾取夾具系統，其特征在于，所述腔體的開放口設有可關閉或打開所述腔體的保護門。

7.如權利要求6所述的靜電吸附拾取夾具系統，其特征在于，所述保護門樞轉設于所述開放口邊沿并可繞樞轉軸進行擺動。

8.如權利要求6所述的靜電吸附拾取夾具系統，其特征在于，所述保護門可沿滑槽滑動將所述開放口打開或關閉。