[發明專利]觸針以及測定方法

有效

• 申請號: 201710110957.5
• 申請日: 2017-02-27
• 公開（公告）號: CN107167104B
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發明（設計）人: 久保雅裕;鷹巢良史
• 申請（專利權）人: 松下知識產權經營株式會社
• 主分類號: G01B21/20
• 分類號: G01B21/20
• 代理公司: 11021 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 劉文海

本發明提供觸針以及測定方法。觸針具備軸部(7)、在軸部的前端配置的單晶金剛石的突出部(2)、以及在突出部的前端配置的單晶金剛石的球狀部(1)，在球狀部的最前端部配置有{100}面(4)，突出部在比球狀部靠軸部側的環狀的區域(30)內分布有{111}面(5)以及{110}面(6)，并且{111}面(5)以及{110}面(6)在環狀的區域內突出。

技術領域

本發明涉及觸針以及使用觸針來測定被測定物的三維形狀的測定方法。

背景技術

以往的觸針的前端形成有以單晶金剛石為原材料的球狀部。使用該球狀部測定被測定物的三維形狀(例如，日本特許第4794753號)。

然而，在上述的現有例中，難以長期確保觸針的可靠性。

發明內容

本發明的目的在于提供能夠長期保持高可靠性的觸針以及測定方法。

為了實現所述目的，本發明的一個方式的觸針具備：軸部；在軸部的前端配置的單晶金剛石的突出部；以及在突出部的前端配置的單晶金剛石的球狀部。在球狀部的最前端部配置有單晶金剛石的{100}面，突出部在比球狀部靠軸部側的環狀的區域內分布有單晶金剛石的{111}面以及單晶金剛石的{110}面，并且{110}面以及{111}面在環狀的區域內突出。

如上所述，根據本發明的一個方式的觸針以及測定方法，在使用觸針實施被測定物的三維形狀測定時能夠抑制單晶金剛石的磨損，從而能夠以長壽命進行測定。

附圖說明

圖1是用于對在實施方式中制造的觸針的形狀進行說明的圖。

圖2是用于對在實施方式中使用的單晶金剛石的晶面進行說明的圖。

圖3是用于對在實施方式中使用的加工裝置和觸針的配置進行說明的立體圖。

圖4是用于對實施方式的第一加工工序的鑄件平板和觸針的位置進行的俯視圖。

圖5是用于對實施方式的第二加工工序的鑄件平板和觸針的位置進行說明的俯視圖。

圖6是示出在實施方式中制造的觸針的球狀部以及突出部的形狀測定結果的圖。

具體實施方式

(本發明的基礎見解)

在觸針的前端部使用單晶金剛石時，存在晶面導致的硬度差，因此需要研究晶面的配置。然而，在現有例中沒有針對硬度差的問題的認識，也沒有關于晶面的配置的考慮。

因此，在使觸針的前端部與被測定物接觸而實施測定時，在前端部中，僅硬度比{111}面或{110}面低的{100}面先磨損，從而存在前端部的精度不均勻而惡化的可能性。

于是，本發明人等進行了深入研究探討，結果通過根據晶面的硬度而將前端部的晶面設為最佳配置，從而降低了產生不均勻磨損的可能性，實現了能夠長期保持高可靠性的觸針以及測定方法。

以下，參照圖1至圖6對實施方式進行說明。

圖1是用于對在實施方式中制造的觸針3的形狀進行說明的圖。觸針3具備：軸部7；球狀部1，其配置在軸部7的前端部且以單晶金剛石為原材料；以及突出部2，其配置在軸部7與球狀部1之間的環狀的區域30且以單晶金剛石為原材料。觸針3使球狀部1、或球狀部1和突出部2與被測定物的被測定面接觸來進行被測定物的三維測定。

球狀部1是最前端部由單晶金剛石的{100}面4(以下簡稱為{100}面4)構成的球狀的面。