[發明專利]觸針以及測定方法有效
| 申請號： | 201710110957.5 | 申請日： | 2017-02-27 |
| 公開（公告）號： | CN107167104B | 公開（公告）日： | 2020-01-10 |
| 發明（設計）人： | 久保雅裕;鷹巢良史 | 申請（專利權）人： | 松下知識產權經營株式會社 |
| 主分類號： | G01B21/20 | 分類號： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 11021 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 劉文海 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 以及 測定 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種觸針，其中，
所述觸針具備：
軸部；
在所述軸部的前端配置的單晶金剛石的突出部；以及
在所述突出部的前端配置的單晶金剛石的球狀部，
在所述球狀部的最前端部配置有單晶金剛石的{100}面，
所述突出部在比所述球狀部靠近所述軸部側的環狀的區域內分布有單晶金剛石的{111}面以及單晶金剛石的{110}面，并且所述{110}面以及所述{111}面在所述環狀的區域內突出。
2.根據權利要求1所述的觸針，其中，
在將所述球狀部與所述突出部定義為穿過所述球狀部的所述最前端部的球時，所述環狀的區域內的所述{111}面以及所述{110}面的突出量處于自所述球的表面0.02μm以上且0.05μm以內的范圍。
3.根據權利要求1所述的觸針，其中，
所述球狀部由半徑為5μm以上且20μm以下的球的球缺構成。
4.根據權利要求2所述的觸針，其中，
所述球狀部由半徑為5μm以上且20μm以下的球的球缺構成。
5.一種測定方法，其中，
所述測定方法使用權利要求1至4中任一項所述的所述觸針的所述球狀部的所述{100}面對被測定物的三維形狀進行測定。
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