[發(fā)明專利]一種具有形變檢測功能的玻璃基板氣浮裝置及檢測方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710110580.3 | 申請日： | 2017-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN106938785B | 公開（公告）日： | 2022-07-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 鐘偉;顧小玉 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇科技大學 |
| 主分類號： | B65G49/06 | 分類號： | B65G49/06;B65G51/03;G01L11/00 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務(wù)所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李曉靜 |
| 地址： | 212003*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 具有 形變 檢測 功能 玻璃 基板氣浮 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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