[發(fā)明專利]一種具有形變檢測(cè)功能的玻璃基板氣浮裝置及檢測(cè)方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710110580.3 | 申請(qǐng)日： | 2017-02-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106938785B | 公開（公告）日： | 2022-07-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 鐘偉;顧小玉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 江蘇科技大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | B65G49/06 | 分類號(hào)： | B65G49/06;B65G51/03;G01L11/00 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李曉靜 |
| 地址： | 212003*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 具有 形變 檢測(cè) 功能 玻璃 基板氣浮 裝置 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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- 檢測(cè)裝置、檢測(cè)方法和檢測(cè)組件
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