[發(fā)明專利]表面聲波(SAW)諧振器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710104039.1
• 申請日: 2017-02-24
• 公開（公告）號: CN107134988B
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 理查德·C·魯比;斯蒂芬·羅伊·吉爾伯特;約翰·D·拉森三世
• 申請（專利權(quán)）人: 安華高科技股份有限公司
• 主分類號: H03H9/25
• 分類號: H03H9/25;H03H9/02
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 林斯凱

本發(fā)明涉及表面聲波saw諧振器。一種設(shè)備包含：硅Si襯底，其具有第一表面及第二表面，所述硅襯底在室溫下具有大于約1000Ω?cm且小于約15000Ω?cm的電阻率；及壓電層，其安置在所述襯底上方且具有第一表面及第二表面。所述壓電層可具有在約0.5μm到約30.0μm的范圍內(nèi)的厚度且基本上不含鐵Fe。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及表面聲波(saw)諧振器。

背景技術(shù)

電諧振器廣泛并入現(xiàn)代電子裝置中。例如，在無線通信裝置中，射頻(RF)及微波頻率諧振器用于濾波器中，用于例如具有形成梯形及晶格結(jié)構(gòu)的電串聯(lián)及并聯(lián)諧振器的濾波器中。濾波器可包含在例如連接在天線(可存在如同用于MIMO的若干個天線)與收發(fā)器之間的雙工器(雙工器、三工器、四工器、五工器等)中用于對所接收信號及所傳輸信號進行濾波。

各種類型的濾波器使用機械諧振器，例如表面聲波(SAW)諧振器。諧振器將電信號轉(zhuǎn)換成機械信號或振動，及/或?qū)C械信號或振動轉(zhuǎn)換成電信號。

雖然需要特定表面模，但特定駐波亂真模可存在于SAW諧振器的壓電材料的相對面之間。這些亂真模是寄生的，且可影響包括SAW諧振器的濾波器的性能。

因此，需要一種至少克服上文描述的已知SAW諧振器的缺點的SAW諧振器結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容

一方面，本發(fā)明描述一種設(shè)備，其包括：硅(Si)襯底，其具有第一表面及第二表面，所述硅襯底在室溫下具有大于約1000Ω-cm且小于約15000Ω-cm的電阻率；及壓電層，其安置在所述襯底上方且具有第一表面及第二表面。

另一方面，本發(fā)明描述一種包括多個表面聲波(SAW)諧振器結(jié)構(gòu)的SAW濾波器，所述多個SAW諧振器結(jié)構(gòu)中的一或多者包括：硅(Si)襯底，其具有第一表面及第二表面，所述硅襯底在室溫下具有大于約1000Ω-cm且小于約15000Ω-cm的電阻率；及壓電層，其安置在所述襯底上方且具有第一表面及第二表面。

附圖說明

從結(jié)合附圖中的圖閱讀的以下詳細描述最佳地理解示例性實施例。應(yīng)強調(diào)的是，各種特征未必按比例繪制。事實上，為了論述清晰，可任意地增大或減小尺寸。在適用且實用的情況下，相同參考符號指相同元件。

圖1A是根據(jù)代表性實施例的SAW諧振器結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖1B是導(dǎo)納對頻率的圖。

圖2是圖1A的SAW諧振器結(jié)構(gòu)沿線2-2的橫截面視圖。

圖3是根據(jù)代表性實施例的SAW諧振器的一部分的橫截面視圖。

圖4是根據(jù)代表性實施例的SAW諧振器的一部分的橫截面視圖。

圖5是根據(jù)代表性實施例的包括SAW諧振器結(jié)構(gòu)的濾波器的簡化示意框圖。

具體實施方式

在以下詳細描述中，出于解釋且非限制的目的，闡述揭示具體細節(jié)的代表性實施例以便透徹理解本發(fā)明。然而，對于受益于本發(fā)明的一般技術(shù)人員將顯而易見的是，背離本文中揭示的具體細節(jié)的根據(jù)本發(fā)明的其它實施例保持在所附權(quán)利要求書的范圍內(nèi)。此外，可省略熟知設(shè)備及方法的描述以免模糊代表性實施例的描述。這些方法及設(shè)備顯然在本發(fā)明的范圍內(nèi)。

應(yīng)理解，本文中使用的術(shù)語出于僅描述特定實施例的目的，且并非意圖為限制性的。任何所定義術(shù)語又含所定義術(shù)語的如本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域中通常理解及接受的技術(shù)及科技意義。

如本說明書及所附權(quán)利要求書中使用，除非上下文另外清楚地指明，否則術(shù)語‘一’及‘所述’包含單數(shù)指示物及復(fù)數(shù)指示物兩者。因此，例如，‘一裝置’包含一個裝置及多個裝置。