[發(fā)明專利]壓力傳感器及其制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710099622.8
• 申請(qǐng)日: 2017-02-23
• 公開（公告）號(hào): CN108469318A
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何羽軒;蔡明志;謝明宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華邦電子股份有限公司
• 主分類號(hào): G01L1/22
• 分類號(hào): G01L1/22;G01L1/14
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 馬雯雯;臧建明

本發(fā)明提供一種壓力傳感器及其制造方法。壓力傳感器包括一第一電極、覆蓋第一電極的一感壓層以及覆蓋感壓層的一第二電極。所述感壓層中包括支撐材料，所述支撐材料為長(zhǎng)徑比在100至5000的納米級(jí)材料。通過納米級(jí)材料的特性，能提升壓力傳感器中感壓層的機(jī)械性質(zhì)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種壓力感測(cè)技術(shù)，尤其是涉及一種壓力傳感器及其制造方法。

背景技術(shù)

隨著科技的進(jìn)步，各式各樣的電子產(chǎn)品都朝向輕、薄、短、小的尺寸發(fā)展，其中在觸控裝置中，壓力傳感器的尺寸是其朝向輕、薄、短、小發(fā)展的關(guān)鍵。然而，在現(xiàn)有技術(shù)中，當(dāng)壓力傳感器縮小到一定尺寸后，壓力傳感器中的感壓變形層會(huì)因機(jī)械強(qiáng)度不足，導(dǎo)致受壓變形后，無法完全回復(fù)原有的樣子，大幅縮減了壓力傳感器的使用壽命。因此，目前急需開發(fā)一種能解決前述問題的壓力傳感器。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種壓力傳感器，具有優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度，以提高壓力傳感器的使用壽命。

本發(fā)明又提供一種壓力傳感器的制造方法，能制作出具有優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度的壓力傳感器，以提高壓力傳感器的使用壽命。

本發(fā)明的壓力傳感器，包括第一電極、覆蓋第一電極的感壓層以及位于感壓層上的第二電極，其中感壓層包括支撐材料，支撐材料包括長(zhǎng)徑比在100至5000的納米級(jí)材料。

本發(fā)明的壓力傳感器的制造方法，包括形成第一電極，再利用三維(3D)打印形成覆蓋第一電極的感壓層，然后于感壓層上形成一第二電極，其中感壓層包括支撐材料，支撐材料包括長(zhǎng)徑比在100至5000的納米級(jí)材料。

基于上述，本發(fā)明在感壓層中具有高剛性、高強(qiáng)度、高長(zhǎng)徑比的納米級(jí)材料，能大幅提升了壓力傳感器的機(jī)械性質(zhì)，即使在裝置尺寸很小的情況下，壓力傳感器受壓變形后仍能回復(fù)原來的形狀，因此可大幅提升壓力傳感器的使用壽命。此外，由于本發(fā)明利用3D打印技術(shù)制作壓力感應(yīng)器，因此能將原本難以混入感壓層的材料(如納米纖維素)完美地混合在感壓層，而獲得機(jī)械強(qiáng)度大的壓力傳感器。

為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例，并配合所示附圖作詳細(xì)說明如下。

附圖說明

圖1A是依照本發(fā)明的一實(shí)施例的一種電阻式壓力傳感器，于未受壓情況下的示意圖。

圖1B是圖1A的電阻式壓力傳感器受壓情況下的剖面圖。

圖2A是依照本發(fā)明的另一實(shí)施例的一種電容式壓力傳感器，于未受壓情況下的示意圖。

圖2B是圖2A的電容式壓力傳感器受壓情況下的剖面圖。

圖3至圖5是依照本發(fā)明的又一實(shí)施例的壓力傳感器的制造流程剖面示意圖。

附圖標(biāo)記說明：

100：電阻式壓力傳感器；

110、210、320：第一電極；

120、220、330：感壓層；

122：支撐材料；

124、224：高分子材料；

126、226：納米級(jí)材料；

128：導(dǎo)電顆粒；

130、230、340：第二電極；

200：電容式壓力傳感器；

300：壓力傳感器；

310：基板；

H1、H2：高度。

具體實(shí)施方式