[發明專利]壓力傳感器及其制造方法在審
| 申請號： | 201710099622.8 | 申請日： | 2017-02-23 |
| 公開（公告）號： | CN108469318A | 公開（公告）日： | 2018-08-31 |
| 發明（設計）人： | 何羽軒;蔡明志;謝明宏 | 申請（專利權）人： | 華邦電子股份有限公司 |
| 主分類號： | G01L1/22 | 分類號： | G01L1/22;G01L1/14 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人： | 馬雯雯;臧建明 |
| 地址： | 中國臺灣臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓力傳感器 感壓層 納米級材料 第一電極 支撐材料 第二電極 機械性質 長徑比 覆蓋 制造 | ||
1.一種壓力傳感器，其特征在于，包括：
第一電極；
感壓層，覆蓋所述第一電極，其中所述感壓層包括支撐材料，所述支撐材料包括長徑比在100至5000的納米級材料；以及
第二電極，位于所述感壓層上。
2.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述納米級材料的直徑為5納米～20納米，所述納米級材料的長度為1微米至10微米。
3.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述納米級材料包括納米纖維素、克維拉纖維、鋼絲、納米黏土片、碳纖維、納米碳管、酰胺纖維、硼纖維或聚酰胺觸變膠。
4.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述支撐材料還包括高分子材料。
5.根據權利要求4所述的壓力傳感器，其特征在于，所述高分子材料包括聚苯乙烯、環氧樹脂、聚乳酸、聚乙烯、低密度聚乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯、聚丙烯腈聚二甲基硅氧烷或上述材料的組合。
6.根據權利要求4所述的壓力傳感器，其特征在于，所述支撐材料中的所述納米級材料與所述高分子材料的重量比為0.001～0.3。
7.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述感壓層還包括多數個導電顆粒。
8.根據權利要求7所述的壓力傳感器，其特征在于，所述感壓層中的所述導電顆粒的含量為10wt％～30wt％。
9.根據權利要求7所述的壓力傳感器，其特征在于，所述感壓層中的所述支撐材料的含量為70wt％～90wt％。
10.根據權利要求7所述的壓力傳感器，其特征在于，所述支撐材料還包括高分子材料。
11.根據權利要求10所述的壓力傳感器，其特征在于，所述支撐材料中的所述納米級材料與所述高分子材料的重量比為0.005～0.3。
12.一種壓力傳感器的制造方法，其特征在于，包括：
形成第一電極；
利用3D打印形成感壓層，覆蓋所述第一電極，其中所述感壓層包括支撐材料，所述支撐材料包括長徑比在100至5000的納米級材料；以及
在所述感壓層上形成第二電極。
13.根據權利要求12所述的壓力傳感器的制造方法，其特征在于，形成所述第一電極以及形成所述第二電極的方法包括3D打印。
14.根據權利要求12所述的壓力傳感器的制造方法，其特征在于，形成所述感壓層的步驟之前還包括：在所述3D打印的墨水中添加多數個導電顆粒。
15.根據權利要求12所述的壓力傳感器的制造方法，其特征在于，形成所述感壓層的步驟之前還包括：在所述3D打印的墨水中添加高分子材料。
16.根據權利要求12所述的壓力傳感器的制造方法，其特征在于，所述納米級材料包括納米纖維素、克維拉纖維、鋼絲、納米黏土片、碳纖維、納米碳管、酰胺纖維、硼纖維或聚酰胺觸變膠。
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