[發明專利]微發光二極管的轉印裝置

有效

• 申請號: 201710093395.8
• 申請日: 2017-02-21
• 公開（公告）號: CN106876293B
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 陳黎暄
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60;H01L25/075;H01L33/62
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰;顧楠楠

1.一種微發光二極管的轉印裝置，其特征在于：包括機架(6)，在機架(6)上設有加熱面朝下的加熱裝置(1)以及設于加熱裝置(1)下方可移動的冷卻裝置(2)，所述加熱裝置(1)的加熱面用于承載具有微發光二極管(93)的供給襯底(91)，供給襯底(91)通過固定件固定于加熱面上，所述冷卻裝置(2)的冷卻面用于承載接收襯底(92)；所述冷卻裝置(2)的冷卻面與加熱裝置(1)的加熱面相對，在加熱裝置(1)與冷卻裝置(2)之間設有滾筒機構(3)，滾筒機構(3)固定在機架(6)上，所述滾筒機構(3)上設有可循環轉動的傳送帶(4)，所述傳送帶(4)由轉印膜片構成，在傳送帶(4)的外表面上設有溫控膠(5)，通過傳送帶(4)上的溫控膠(5)將被加熱的供給襯底(91)上的微發光二極管(93)粘附后，滾筒機構(3)的轉動帶動傳送帶(4)移動至接收襯底(92)一側，通過冷卻裝置對接收襯底(92)降溫，溫控膠(5)失去粘性，使粘附在傳送帶(4)上的微發光二極管(93)剝離，完成微發光二極管(93)的轉印，在機架(6)上設有電源(8)，電源(8)與滾筒機構(3)、加熱裝置(1)、冷卻裝置(2)電連接。

2.根據權利要求1所述的微發光二極管的轉印裝置，其特征在于：所述滾筒機構(3)的轉動方向與冷卻裝置(2)的移動方向相反。

3.根據權利要求1所述的微發光二極管的轉印裝置，其特征在于：所述冷卻裝置(2)上設有與電源(8)連接的傳動機構，傳動機構用于驅動冷卻裝置(2)移動。

4.根據權利要求1所述的微發光二極管的轉印裝置，其特征在于：所述滾筒機構(3)包括至少一個驅動滾筒(31)以及至少一個從動滾筒(32)，所述傳送帶(4)套在驅動滾筒(31)與從動滾筒(32)上，驅動滾筒(31)與電源(8)連接。

5.根據權利要求4所述的微發光二極管的轉印裝置，其特征在于：所述驅動滾筒(31)為電動滾筒。

6.根據權利要求1所述的微發光二極管的轉印裝置，其特征在于：所述傳送帶(4)的表面上陣列排布有矩形凸起(41)，相鄰兩個矩形凸起(41)的間距相等，溫控膠(5)覆蓋在矩形凸起(41)上以及矩形凸起(41)之間的間隙內。

7.根據權利要求1所述的微發光二極管的轉印裝置，其特征在于：所述冷卻裝置(2)的冷卻介質為液氮或干冰。

8.根據權利要求3所述的微發光二極管的轉印裝置，其特征在于：所述傳動機構包括固定在機架(6)下端的與電源(8)連接的驅動電機(71)、設于驅動電機(71)輸出軸上的驅動齒輪(72)、與驅動齒輪(72)嚙合的齒條(73)，在齒條(73)上設有移動平臺(74)，冷卻裝置(2)固定在移動平臺(74)上。

9.根據權利要求1所述的微發光二極管的轉印裝置，其特征在于：所述傳送帶(4)采用柔性材料制成。