[發(fā)明專利]微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)印裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710093395.8
• 申請(qǐng)日: 2017-02-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106876293B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳黎暄
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/60
• 分類號(hào): H01L21/60;H01L25/075;H01L33/62
• 代理公司: 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰;顧楠楠

本發(fā)明提供了一種微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)印裝置，包括機(jī)架，在機(jī)架上設(shè)有加熱面朝下的加熱裝置以及設(shè)于加熱裝置下方可移動(dòng)的冷卻裝置，所述加熱裝置的加熱面用于承載具有微發(fā)光二極管的供給襯底，供給襯底通過(guò)固定件固定于加熱面上，所述冷卻裝置的冷卻面用于承載接收襯底；所述冷卻裝置的冷卻面與加熱裝置的加熱面相對(duì)，在加熱裝置與冷卻裝置之間設(shè)有滾筒機(jī)構(gòu)，滾筒機(jī)構(gòu)固定在機(jī)架上，所述滾筒機(jī)構(gòu)上設(shè)有可循環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)的傳送帶，所述傳送帶由轉(zhuǎn)印膜片構(gòu)成，在傳送帶的外表面上設(shè)有溫控膠。與現(xiàn)有技術(shù)相比，通過(guò)設(shè)置加熱裝置以及冷卻裝置，中間通過(guò)滾筒式傳送帶，在傳送帶表面設(shè)置溫控膠，實(shí)現(xiàn)微發(fā)光二極管的循環(huán)吸附以及轉(zhuǎn)印，提高轉(zhuǎn)印效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種微發(fā)光二極管顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)印裝置。

背景技術(shù)

平面顯示裝置因具有高畫質(zhì)、省電、機(jī)身薄及應(yīng)用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)，而被廣泛的應(yīng)用于手機(jī)、電視、個(gè)人數(shù)字助理、數(shù)字相機(jī)、筆記本電腦、臺(tái)式計(jì)算機(jī)等各種消費(fèi)性電子產(chǎn)品，成為顯示裝置中的主流。

微發(fā)光二極管(Micro LED，μLED)顯示器是一種以在一個(gè)基板上集成的高密度微小尺寸的LED陣列作為顯示像素來(lái)實(shí)現(xiàn)圖像顯示的顯示器，同大尺寸的戶外LED顯示屏一樣，每一個(gè)像素可定址、單獨(dú)驅(qū)動(dòng)點(diǎn)亮，可以看成是戶外LED顯示屏的縮小版，將像素點(diǎn)距離從毫米級(jí)降低至微米級(jí)，μLED顯示器和有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)顯示器一樣屬于自發(fā)光顯示器，但μLED顯示器相比OLED顯示器還具有材料穩(wěn)定性更好、壽命更長(zhǎng)、無(wú)影像烙印等優(yōu)點(diǎn)，被認(rèn)為是OLED顯示器的最大競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。

微轉(zhuǎn)印(Micro Transfer Printing)技術(shù)是目前制備μLED顯示裝置的主流方法，具體制備過(guò)程為：首先在藍(lán)寶石類基板生長(zhǎng)出微發(fā)光二極管，然后通過(guò)激光剝離技術(shù)(Laser lift-off，LLO)將微發(fā)光二極管裸芯片(bare chip)從藍(lán)寶石類基板上分離開(kāi)，隨后使用一個(gè)圖案化的聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane，PDMS)傳送頭將微發(fā)光二極管裸芯片從藍(lán)寶石類基板吸附起來(lái)，并將PDMS傳送頭與接收基板進(jìn)行對(duì)位，隨后將PDMS傳送頭所吸附的微發(fā)光二極管裸芯片貼附到接收基板上預(yù)設(shè)的位置，再剝離PDMS傳送頭，即可完成將微發(fā)光二極管裸芯片轉(zhuǎn)移到接收基板上，進(jìn)而制得μLED顯示裝置。

而目前的轉(zhuǎn)印一般采用通電吸附或PDMS的方式粘附進(jìn)行轉(zhuǎn)印，當(dāng)使用PDMS方式進(jìn)行剝離時(shí)存在較難控制剝離效果；當(dāng)使用通電吸附時(shí)則需要對(duì)每個(gè)吸附頭進(jìn)行導(dǎo)通，不僅復(fù)雜而且剝離效果欠佳；目前還有一種通過(guò)溫度控制來(lái)進(jìn)行微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)印的技術(shù)，其原理是通過(guò)低溫剝離型膠水，其轉(zhuǎn)印的過(guò)程分為吸附-轉(zhuǎn)移-降溫最終完成轉(zhuǎn)印，但是往往降溫和完成轉(zhuǎn)印的過(guò)程速率較慢，且不利于重復(fù)進(jìn)行的高效轉(zhuǎn)印。

發(fā)明內(nèi)容

為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)印裝置，從而提高轉(zhuǎn)印的效率。

本發(fā)明提供了一種微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)印裝置，包括機(jī)架，在機(jī)架上設(shè)有加熱面朝下的加熱裝置以及設(shè)于加熱裝置下方可移動(dòng)的冷卻裝置，所述加熱裝置的加熱面用于承載具有微發(fā)光二極管的供給襯底，供給襯底通過(guò)固定件固定于加熱面上，所述冷卻裝置的冷卻面用于承載接收襯底；所述冷卻裝置的冷卻面與加熱裝置的加熱面相對(duì)，在加熱裝置與冷卻裝置之間設(shè)有滾筒機(jī)構(gòu)，滾筒機(jī)構(gòu)固定在機(jī)架上，所述滾筒機(jī)構(gòu)上設(shè)有可循環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)的傳送帶，所述傳送帶由轉(zhuǎn)印膜片構(gòu)成，在傳送帶的外表面上設(shè)有溫控膠，通過(guò)傳送帶上的溫控膠將被加熱的供給襯底上的微發(fā)光二極管粘附后，滾筒機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)傳送帶移動(dòng)至接收襯底一側(cè)，通過(guò)冷卻裝置對(duì)接收襯底降溫，溫控膠失去粘性將粘附在傳送帶上的微發(fā)光二極管剝離，完成微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)印，在機(jī)架上設(shè)有電源，電源與滾筒機(jī)構(gòu)、加熱裝置、冷卻裝置電連接。

進(jìn)一步地，所述滾筒機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與冷卻裝置的移動(dòng)方向相反。

進(jìn)一步地，所述冷卻裝置上設(shè)有與電源連接的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)冷卻裝置移動(dòng)。