[發明專利]軟磁鐵氧體材料晶粒尺寸測量的預處理方法及測量方法

在審

• 申請號: 201710090422.6
• 申請日: 2017-02-20
• 公開（公告）號: CN106872317A
• 公開（公告）日: 2017-06-20
• 發明（設計）人: 左新浪;劉子蓮;蔡穎穎;馬麗利
• 申請（專利權）人: 中國電子產品可靠性與環境試驗研究所
• 主分類號: G01N15/02
• 分類號: G01N15/02;G01N1/28;G01N1/32
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司44224
• 代理人: 萬志香

1.一種軟磁鐵氧體材料晶粒尺寸測量的預處理方法，其特征在于，包括以下步驟：

配制蝕刻液，將鹽酸與硝酸混合并攪拌均勻，得所述蝕刻液；

將所述蝕刻液置于蝕刻容器中并加熱；

將軟磁鐵氧體材料試樣的待蝕刻面向上并放入所述蝕刻液中蒸煮；

蝕刻后取出并用水沖洗；以及

進行表面干燥，得蝕刻試樣。

2.如權利要求1所述的軟磁鐵氧體材料晶粒尺寸測量的預處理方法，其特征在于，所述配制蝕刻液還包括加入甘油的步驟，具體是：將所述鹽酸與所述甘油混合并攪拌均勻得鹽酸甘油溶液，向所述鹽酸甘油溶液中加入所述硝酸并攪拌均勻，得所述蝕刻液。

3.如權利要求1或2所述的軟磁鐵氧體材料晶粒尺寸測量的預處理方法，其特征在于，所述鹽酸的密度為1.19g/mL，所述鹽酸的用量為20mL～30mL；所述硝酸的密度為1.42g/mL，所述硝酸的用量為10mL。

4.如權利要求2所述的軟磁鐵氧體材料晶粒尺寸測量的預處理方法，其特征在于，所述甘油的用量大于0mL且小于等于30mL。

5.如權利要求1或2所述的軟磁鐵氧體材料晶粒尺寸測量的預處理方法，其特征在于，所述加熱的溫度為65℃～95℃。

6.如權利要求1或2所述的軟磁鐵氧體材料晶粒尺寸測量的預處理方法，其特征在于，所述蒸煮的時間為60min～120min。

7.如權利要求1所述的軟磁鐵氧體材料晶粒尺寸測量的預處理方法，其特征在于，所述軟磁鐵氧體材料為CuZnNi鐵氧體。

8.一種軟磁鐵氧體材料晶粒尺寸的測量方法，其特征在于，包括以下步驟：

將軟磁鐵氧體材料固封后磨拋；

將磨拋后的軟磁鐵氧體材料試樣按照權利要求1～7中任一項所述的軟磁鐵氧體材料晶粒尺寸測量的預處理方法進行預處理，得所述蝕刻試樣；

測量所述蝕刻試樣的晶粒尺寸。

9.如權利要求8所述的軟磁鐵氧體材料晶粒尺寸的測量方法，其特征在于，所述測量所述蝕刻試樣的晶粒尺寸具體包括：

在所述蝕刻試樣的蝕刻面上任意畫直線段，量出一條直線段的長度并數出與直線段相交晶粒邊界的數目，通過計算得到所述軟磁鐵氧體材料的晶粒尺寸。