[發(fā)明專(zhuān)利]坩堝、蒸鍍準(zhǔn)備裝置、蒸鍍?cè)O(shè)備及蒸鍍方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710086738.8
• 申請(qǐng)日: 2017-02-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108456855A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 申永奇
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/24
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/24
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 姜春咸;陳源

本發(fā)明提供一種坩堝，包括坩堝本體，所述坩堝本體的頂部形成有開(kāi)口，所述坩堝還包括密封蓋和彈性件，所述密封蓋與所述坩堝本體形成可拆卸的密封連接，以使所述密封蓋能夠打開(kāi)或密封所述開(kāi)口，所述彈性件設(shè)置在所述密封蓋和所述坩堝本體之間，且所述彈性件在所述密封蓋密封所述開(kāi)口時(shí)處于壓縮狀態(tài)。相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種蒸鍍準(zhǔn)備裝置、蒸鍍?cè)O(shè)備和蒸鍍方法，本發(fā)明能夠減少待蒸鍍材料的變質(zhì)，減少人體與待蒸鍍材料的直接接觸。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示裝置的生產(chǎn)領(lǐng)域，具體涉及一種坩堝、蒸鍍準(zhǔn)備裝置、蒸鍍?cè)O(shè)備及蒸鍍方法。

背景技術(shù)

蒸鍍法是有機(jī)電致發(fā)光顯示基板的制作中常用的方法，具體過(guò)程是在真空腔室中，對(duì)坩堝內(nèi)的蒸鍍材料進(jìn)行加熱，以使材料從固態(tài)轉(zhuǎn)換為氣態(tài)的原子、原子團(tuán)或分子，然后凝聚到待鍍膜的基板表面形成膜層。傳統(tǒng)的坩堝為開(kāi)放式(即，頂端形成開(kāi)口)坩堝，在蒸鍍之前，先將蒸鍍材料放置于坩堝中，然后再將坩堝放入蒸鍍腔室中進(jìn)行加熱蒸鍍。由于坩堝為開(kāi)放式坩堝，因此從蒸鍍材料放入坩堝到進(jìn)入腔室之前，蒸鍍材料會(huì)一直暴露在外界大氣中，對(duì)于吸水性材料和活潑金屬類(lèi)材料來(lái)說(shuō)，空氣中的水、氧氣成分容易引起材料的變質(zhì)進(jìn)而影響最終的蒸鍍效果，且有毒的材料會(huì)損害操作人員的健康。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一，提出了一種坩堝、蒸鍍準(zhǔn)備裝置、蒸鍍?cè)O(shè)備和蒸鍍方法，以減少待蒸鍍材料的變質(zhì)和減少人體與待蒸鍍材料的直接接觸。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題之一，本發(fā)明提供一種坩堝，包括坩堝本體，所述坩堝本體的頂部形成有開(kāi)口，所述坩堝還包括密封蓋和彈性件，所述密封蓋與所述坩堝本體形成可拆卸的密封連接，以使所述密封蓋能夠打開(kāi)或密封所述開(kāi)口，所述彈性件設(shè)置在所述密封蓋和所述坩堝本體之間，且所述彈性件在所述密封蓋密封所述開(kāi)口時(shí)處于壓縮狀態(tài)。

優(yōu)選地，所述彈性件包括扭力彈簧，所述扭力彈簧的一端設(shè)置在所述坩堝本體上，所述扭力彈簧的另一端設(shè)置在所述密封蓋邊緣，所述密封蓋邊緣的未設(shè)置所述扭力彈簧的部分通過(guò)連接件與所述坩堝本體可拆卸地連接。

優(yōu)選地，所述坩堝本體包括底壁和側(cè)壁，所述坩堝本體的側(cè)壁包括直立部和水平延伸部，所述水平延伸部的一端與所述直立部的頂端相連，所述水平延伸部的另一端朝向所述坩堝本體外部延伸，

所述扭力彈簧的一端設(shè)置在所述水平延伸部上，所述密封蓋邊緣的未設(shè)置扭力彈簧的部分通過(guò)所述連接件與所述水平延伸部可拆卸地連接。

優(yōu)選地，所述連接件包括卡扣，所述卡扣的一端與所述密封蓋鉸接，所述卡扣的另一端設(shè)置有用于與所述水平延伸部卡接的卡勾。

優(yōu)選地，所述水平延伸部上設(shè)置有第一密封墊，該第一密封墊為環(huán)繞所述坩堝本體的軸線的閉合環(huán)形結(jié)構(gòu)；和/或，

所述密封蓋包括蓋體和設(shè)置在蓋體底面上的第二密封墊，該第二密封墊為環(huán)繞所述密封蓋的軸線的閉合環(huán)形結(jié)構(gòu)。

相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種蒸鍍準(zhǔn)備裝置，包括手套箱和本發(fā)明提供的上述坩堝，所述手套箱包括箱體和手套，所述箱體上設(shè)置有入口、用于打開(kāi)和關(guān)閉該入口的箱門(mén)、手套接口，所述手套與所述手套接口密封連接，所述坩堝能夠通過(guò)所述入口進(jìn)入所述箱體內(nèi)；所述箱體上設(shè)置有氣壓調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，所述氣壓調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)用于調(diào)節(jié)所述箱體內(nèi)的氣壓。

優(yōu)選地，所述箱體上還設(shè)置有進(jìn)氣口，該進(jìn)氣口與惰性氣體源相連通。

相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種蒸鍍?cè)O(shè)備，包括蒸鍍腔室，所述蒸鍍腔室與抽真空裝置連通，所述蒸鍍裝置還包括本發(fā)明提供的上述蒸鍍準(zhǔn)備裝置。

相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種利用本發(fā)明提供的上述蒸鍍?cè)O(shè)備的蒸鍍方法，包括：

將所述坩堝放入所述手套箱的箱體內(nèi)；

通過(guò)所述手套箱的手套將待蒸鍍材料放入所述箱體中的坩堝本體內(nèi)；