[發明專利]坩堝、蒸鍍準備裝置、蒸鍍設備及蒸鍍方法

在審

• 申請號: 201710086738.8
• 申請日: 2017-02-17
• 公開（公告）號: CN108456855A
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發明（設計）人: 申永奇
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 姜春咸;陳源

1.一種坩堝，包括坩堝本體，所述坩堝本體的頂部形成有開口，其特征在于，所述坩堝還包括密封蓋和彈性件，所述密封蓋與所述坩堝本體形成可拆卸的密封連接，以使所述密封蓋能夠打開或密封所述開口，所述彈性件設置在所述密封蓋和所述坩堝本體之間，且所述彈性件在所述密封蓋密封所述開口時處于壓縮狀態。

2.根據權利要求1所述的坩堝，其特征在于，所述彈性件包括扭力彈簧，所述扭力彈簧的一端設置在所述坩堝本體上，所述扭力彈簧的另一端設置在所述密封蓋邊緣，所述密封蓋邊緣的未設置所述扭力彈簧的部分通過連接件與所述坩堝本體可拆卸地連接。

3.根據權利要求2所述的坩堝，其特征在于，所述坩堝本體包括底壁和側壁，所述坩堝本體的側壁包括直立部和水平延伸部，所述水平延伸部的一端與所述直立部的頂端相連，所述水平延伸部的另一端朝向所述坩堝本體外部延伸，

所述扭力彈簧的一端設置在所述水平延伸部上，所述密封蓋邊緣的未設置扭力彈簧的部分通過所述連接件與所述水平延伸部可拆卸地連接。

4.根據權利要求3所述的坩堝，其特征在于，所述連接件包括卡扣，所述卡扣的一端與所述密封蓋鉸接，所述卡扣的另一端設置有用于與所述水平延伸部卡接的卡勾。

5.根據權利要求3所述的坩堝，其特征在于，所述水平延伸部上設置有第一密封墊，該第一密封墊為環繞所述坩堝本體的軸線的閉合環形結構；和/或，

所述密封蓋包括蓋體和設置在蓋體底面上的第二密封墊，該第二密封墊為環繞所述密封蓋的軸線的閉合環形結構。

6.一種蒸鍍準備裝置，其特征在于，包括手套箱和權利要求1至5中任意一項所述的坩堝，所述手套箱包括箱體和手套，所述箱體上設置有入口、用于打開和關閉該入口的箱門、手套接口，所述手套與所述手套接口密封連接，所述坩堝能夠通過所述入口進入所述箱體內；所述箱體上設置有氣壓調節結構，所述氣壓調節結構用于調節所述箱體內的氣壓。

7.根據權利要求6所述的蒸鍍準備裝置，其特征在于，所述箱體上還設置有進氣口，該進氣口與惰性氣體源相連通。

8.一種蒸鍍設備，包括蒸鍍腔室，所述蒸鍍腔室與抽真空裝置連通，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括權利要求6或7所述的蒸鍍準備裝置。

9.一種利用權利要求8所述的蒸鍍設備的蒸鍍方法，其特征在于，包括：

將所述坩堝放入所述手套箱的箱體內；

通過所述手套箱的手套將待蒸鍍材料放入所述箱體中的坩堝本體內；

調節所述箱體內的氣壓，以使其小于外界大氣壓；

將所述密封蓋與所述坩堝本體密封連接；

將所述坩堝從所述手套箱移至所述蒸鍍腔室內，并在所述坩堝移出所述手套箱后、進入所述蒸鍍腔室前解除所述密封蓋與所述坩堝本體之間的密封連接；

對所述蒸鍍腔室進行抽真空。

10.根據權利要求9所述的蒸鍍方法，其特征在于，將所述坩堝和待蒸鍍材料放置在所述手套箱的箱體內的步驟之前還包括：

向所述手套箱的箱體內充入惰性氣體。