[發(fā)明專(zhuān)利]基于線路移位的金屬線布局

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710086042.5
• 申請(qǐng)日: 2017-02-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107093576B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: T·梅爾德;M·U·勒爾;T·赫爾曼;J·哈斯曼;M·A·邁耶;R·K·坤查
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 格羅方德半導(dǎo)體公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/768
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/768;H01L27/02
• 代理公司: 北京戈程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽(yáng)

1.一種針對(duì)半導(dǎo)體裝置的金屬化層的金屬線產(chǎn)生布局的方法，該方法包含：

針對(duì)該半導(dǎo)體裝置的該金屬化層的金屬線提供布局；

將該布局中的金屬線識(shí)別為半隔離金屬線；

判定直接連接至該金屬化層中所形成貫孔的該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線的第一部分；以及

移位該布局內(nèi)該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線的至少一第二部分，其中，將該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線的該至少一第二部分移位到排除該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線受判定直接連接至該貫孔的該第一部分。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其更包含增大該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線的該經(jīng)移位的至少一第二部分的寬度及長(zhǎng)度其中至少一者。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線鄰接于另一金屬線，并且其中，該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線的該至少一第二部分離該鄰接的金屬線的距離通過(guò)該移位來(lái)增大。

4.如權(quán)利要求3所述的方法，其中，針對(duì)該鄰接的金屬線重復(fù)以下步驟：將該布局中的該金屬線識(shí)別為半隔離金屬線、以及移位該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線的至少一第二部分。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線以一預(yù)定距離來(lái)移位，該預(yù)定距離是該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線的寬度的1/4、1/2及1倍其中一者。

6.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，當(dāng)該布局中該金屬線的至少一部分離鄰接的金屬線的距離為至少一預(yù)定值時(shí)，將該布局中的金屬線識(shí)別為半隔離金屬線。

7.如權(quán)利要求6所述的方法，其中，該預(yù)定值是該布局中該金屬線的寬度的2、3或4倍其中一者。

8.如權(quán)利要求1所述的方法，其更包含自圖案目錄讀取圖案，并且其中，基于該讀取的圖案來(lái)進(jìn)行該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線的該至少一第二部分的該移位。

9.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，基于設(shè)計(jì)規(guī)則來(lái)進(jìn)行該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線的該至少一第二部分的該移位。

10.一種針對(duì)半導(dǎo)體裝置的金屬化層的金屬線產(chǎn)生布局的方法，該方法包含：

提供包含該半導(dǎo)體裝置的該金屬化層的多條金屬線的第一布局；

識(shí)別該第一布局中該多條金屬線里的半隔離金屬線；

判定直接連接至該金屬化層中所形成貫孔的該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線的部分；

將該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線的至少部分移位到該第一布局中的可用空間內(nèi)以產(chǎn)生第二布局，使得該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線的該經(jīng)移位部分比該第一布局中該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線在移位前的該部分離該第二布局中最接近的鄰接的金屬線更遠(yuǎn)；

其中，將該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線的至少部分移位到該可用空間內(nèi)排除該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線受判定直接連接至該貫孔的該部分。

11.如權(quán)利要求10所述的方法，其更包含基于該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線、該可用空間、及該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線受判定直接連接至該貫孔的該部分來(lái)界定移位窗，并且其中，將該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線的該至少部分移位到該可用空間內(nèi)通過(guò)該所界定的移位窗來(lái)進(jìn)行。

12.如權(quán)利要求10所述的方法，其更包含自圖案目錄讀取圖案，并且其中，基于該讀取的圖案來(lái)進(jìn)行該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線的該至少部分的該移位。

13.如權(quán)利要求10所述的方法，其更包含通過(guò)光學(xué)鄰近校正技術(shù)來(lái)增大該經(jīng)識(shí)別的半隔離金屬線的該經(jīng)移位的至少部分的至少一些的寬度及長(zhǎng)度其中至少一者。

14.如權(quán)利要求10所述的方法，其中，當(dāng)該金屬線的至少部分離鄰接的金屬線的距離為選自于該金屬線的寬度2至5倍范圍的至少一預(yù)定值時(shí)，將該第一布局的該金屬線的金屬線判定為半隔離金屬線。